[發(fā)明專利]基于高折射率材料的超分辨聚焦裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201911104030.6 | 申請(qǐng)日： | 2019-11-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110673353B | 公開（公告）日： | 2021-07-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張偉華;王中 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南京大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G02B27/58 | 分類號(hào)： | G02B27/58;G02B1/00;G02B3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 江蘇法德東恒律師事務(wù)所 32305 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210046 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 折射率 材料 分辨 聚焦 裝置 | ||
1.基于高折射率材料的超分辨聚焦裝置，包括光源、聚焦元件和類透鏡聚焦結(jié)構(gòu)，其特征在于，光源發(fā)出的光束先經(jīng)過聚焦元件初步聚焦為聚焦光或者平行光后，再入射到類透鏡聚焦結(jié)構(gòu)進(jìn)一步聚焦，在類透鏡聚焦結(jié)構(gòu)的聚焦面處形成亞波長尺寸的聚焦光斑；所述類透鏡聚焦結(jié)構(gòu)的材料采用硅、鍺或硅鍺合金，其尺寸范圍在50～400nm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦裝置，其特征在于，所述光束為自然光、圓偏振光、橢圓偏振光、部分偏振光、線性偏振光、徑向偏振光或者角向偏振光。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦裝置，其特征在于，所述光束的波長范圍是350nm～2000nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦裝置，其特征在于，所述類透鏡聚焦結(jié)構(gòu)為半球形結(jié)構(gòu)、超半球結(jié)構(gòu)、球形結(jié)構(gòu)或者以上結(jié)構(gòu)的修飾結(jié)構(gòu)，或者為超透鏡結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦裝置，其特征在于，所述聚焦光斑的半高寬小于100nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦裝置，其特征在于，所述類透鏡聚焦結(jié)構(gòu)周圍還設(shè)有覆蓋層，類透鏡聚焦結(jié)構(gòu)的邊緣與覆蓋層的邊緣重合。
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