[發明專利]一種短相干泰曼干涉的色散補償方法及測量裝置

在審

• 申請號: 201911103516.8
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN110595352A
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 朱秋東;苑靜;張喆民;王姍姍;劉彬;王偉志
• 申請（專利權）人: 北京奧博泰測控技術有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種短相干泰曼干涉的色散補償方法，其特征在于，在短相干泰曼干涉儀中設置可旋轉的細調補償板和可更換的粗調補償板，通過旋轉所述細調補償板改變其法線方向與所在光路光軸的夾角大小和更換不同厚度的所述粗調補償板，實現參考光和測試光之間各波長光程差為零，進行色散補償，其中：所述細調補償板和所述粗調補償板均與被測透明平板樣品具有相同色散特性。

2.如權利要求1所述的短相干泰曼干涉的色散補償方法，其特征在于，所述細調補償板被設置在短相干泰曼干涉儀的參考光路中。

3.如權利要求2所述的短相干泰曼干涉的色散補償方法，其特征在于，所述粗調補償板被設置在短相干泰曼干涉儀的參考光路中。

4.如權利要求2所述的短相干泰曼干涉的色散補償方法，其特征在于，所述粗調補償板被設置在短相干泰曼干涉儀的測試光路中。

5.如權利要求1所述的短相干泰曼干涉的色散補償方法，其特征在于，所述細調補償板被設置在短相干泰曼干涉儀的測試光路中，所述粗調補償板被設置在短相干泰曼干涉儀的參考光路中。

6.如權利要求1至5任一所述的短相干泰曼干涉的色散補償方法，其特征在于，所述粗調補償板是以級差為a毫米的一組不同厚度分級規格板，所述細調補償板可補償的最大厚度變化量為b毫米，所述a應不大于所述b。

7.一種短相干泰曼干涉測量裝置，包括短相干光源、準直鏡、分光元件、第一參考鏡、第二參考鏡、聚光鏡頭、成像鏡頭和相機，其特征在于，包括可旋轉的細調補償板和可更換的粗調補償板；短相干光源發出的光，經準直鏡后變換為平行光，所述平行光經分光元件分成參考光和測試光，所述參考光經細調補償板透射，經第一參考鏡反射后，沿原路返回，經分光元件反射至成像光路，所述測試光經被測透明平板樣品透射，經第二參考鏡反射后，沿原路返回，經分光元件透射至成像光路，并與返回至成像光路的參考光形成干涉，由成像鏡頭成像至相機靶面，通過旋轉所述細調補償板改變其法線方向與所在光路光軸的夾角大小和更換不同厚度的所述粗調補償板，組合實現參考光和測試光之間各波長光程差為零，進行色散補償，使相機獲得清晰的干涉條紋圖像，對干涉條紋圖像進行分析計算，測量出被測透明平板樣品的透射波像差，其中：所述細調補償板和所述粗調補償板均與被測透明平板樣品具有相同色散特性。

8.如權利要求7所述的一種短相干泰曼干涉測量裝置，其特征在于：所述粗調補償板是以級差為a毫米的一組不同厚度分級規格板，所述細調補償板可補償的最大厚度變化量為b毫米，所述a應不大于所述b。

9.如權利要求7或8所述的一種短相干泰曼干涉測量裝置，其特征在于：所述分光元件為分光棱鏡。

10.如權利要求7或8所述的一種短相干泰曼干涉測量裝置，其特征在于：所述分光元件為分光板和與分光板具有相同色散特性的分光板補償板的組合。