[發明專利]壓電致動器、流體控制閥和流體控制裝置

在審

• 申請號: 201911099390.1
• 申請日: 2019-11-12
• 公開（公告）號: CN111207241A
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 宮本英顯
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: F16K37/00
• 分類號: F16K37/00;F16K31/02
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李成必;李雪春

1.一種壓電致動器，其特征在于包括：

多個壓電模塊，將壓電陶瓷層和電極層交替層疊而形成；以及

驅動電路，與多個所述壓電模塊連接，

多個所述壓電模塊分別沿伸縮方向排列設置，

所述驅動電路包括：

電源部，與多個所述壓電模塊分別并聯；以及

多個限制電阻，相對于多個所述壓電模塊分別串聯設置。

2.根據權利要求1所述的壓電致動器，其特征在于，多個所述限制電阻的電阻值設定為在多個所述壓電模塊中發生了絕緣破壞時使在所述驅動電路中流動的電流值成為所述電源部的電流供給能力以下。

3.一種流體控制閥，其特征在于包括：

如權利要求1所述的壓電致動器；以及

閥體，由所述壓電致動器驅動，相對于閥座離合。

4.一種流體控制裝置，其特征在于包括：

如權利要求3所述的流體控制閥；

流體傳感器，測量流體的壓力或流量；以及

閥控制部，控制所述電源部輸出的電壓，使由流體傳感器測量的測量值成為預先設定的目標值。

5.根據權利要求4所述的流體控制裝置，其特征在于包括：

基準關系存儲部，存儲基準關系，所述基準關系是多個所述壓電模塊正常時的流體的壓力或流量與從所述電源部輸出的電壓的關系；

電壓監測器，檢測所述電源部輸出的電壓；以及

故障判斷部，基于由所述流體傳感器測量的測量值或設定于閥控制部的目標值、由所述電壓監測器檢測的電壓、以及所述基準關系，判斷多個所述壓電模塊中的故障的有無。

6.根據權利要求5所述的流體控制裝置，其特征在于，多個所述壓電模塊各自的伸縮方向的長度尺寸相同。

7.根據權利要求5所述的流體控制裝置，其特征在于，多個所述壓電模塊的至少一個的伸縮方向的長度尺寸與其他所述壓電模塊不同。