[發明專利]一種基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構及其制作方法

有效

• 申請號: 201911098509.3
• 申請日: 2019-11-12
• 公開（公告）號: CN110794649B
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 周文文;王惟圣;丁桂甫;高峰;王廣元;蔡涵
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/038
• 代理公司: 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 張東梅

1.一種制作基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構的方法，包括：

進行基片與玻璃纖維的預處理；

在基片表面進行玻璃纖維與光刻膠的復合，所述光刻膠為SU-8光刻膠；

進行烘膠及光刻工藝；以及

去除顯影后窗口裸露出的玻璃纖維，

其中所述進行基片與玻璃纖維的預處理包括：

對基片進行等離子清洗，使用丙酮對編織玻璃纖維進行清洗，烘干后將編織纖維剪成基片形狀，或者

對基片進行等離子清洗，將玻璃纖維用丙酮清洗后，放入偶聯劑與乙醇的混合液中浸泡一定時間后取出烘干；烘干后取一定量的玻璃纖維加入到一定量的光刻膠中，在設定溫度的熱水浴下，通過機械攪拌和或超聲波攪拌充分混勻。

2.如權利要求1所述的制作基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構的方法，其特征在于，所述去除顯影后窗口裸露出的玻璃纖維是通過稀釋的氫氟酸溶液中進行裸露的玻璃纖維刻蝕。

3.如權利要求1所述的制作基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構的方法，其特征在于，所述增強型光刻膠的曝光顯影進而圖形化的光刻成型特性得以保持。

4.一種通過權利要求1至3中任一項所述的方法制作的基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構，包括：

玻璃纖維；

光刻膠，所述光刻膠包覆所述玻璃纖維，所述光刻膠為SU-8光刻膠；以及

圖形化窗口，所述圖形化窗口形成在基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構中，所述圖形化窗口所在的區域既沒有光刻膠也沒有玻璃纖維。

5.如權利要求4所述的基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構，其特征在于，所述玻璃纖維為編織玻璃纖維布或短切玻璃纖維。

6.如權利要求5所述的基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構，其特征在于，所述編織玻璃纖維布為雙軸向編織或三軸向編織，編織角為±30°或±45°或±60°，纖維纏繞方式為1/1或2/2或3/3編織結構。

7.如權利要求5所述的基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構，其特征在于，所述短切玻璃纖維為E型玻璃纖維、A型玻璃纖維、C型玻璃纖維、S型玻璃纖維的一種或組合。

8.如權利要求5所述的基于玻璃纖維的增強型光刻膠結構，其特征在于，所述編織玻璃纖維布的層數為N，其中N≥1。