[發明專利]多載流子體系的測試及擬合方法

有效

• 申請號: 201911094739.2
• 申請日: 2019-11-11
• 公開（公告）號: CN110927458B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 胡尚正;折偉林;吳卿;陳慧卿;劉銘;田震;楊海燕;劉興新;周立慶
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01N27/00
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 張然

1.一種多載流子體系的測試及擬合方法，其特征在于，包括：

將樣品置于低溫、變磁場中，測量所述樣品的橫向電導率σ_xx和縱向電導率σ_xy；

根據公式1以及公式2對測量的所述σxx和所述σxy進行擬合運算，計算所述樣品中各類載流子的遷移率，

式中，q為所述樣品中載流子的種類個數，B為磁感應強度，σi為第i類載流子的電導率，μi為第i類載流子的遷移率；

各類載流子的遷移率的計算方法具體包括：

假設樣品中含有q中載流子，通過公式1等號右邊的式子理論計算這q種載流子形成的電導率，然后將實際測 得的橫向電導率與其擬合，同理，通過公式2等號右邊的式子理論計算這q種載流子形成的電導率，然后將實際測 得的縱向電導率與其擬合，當通過公式1以及公式2均擬合成功，則確定樣品中含有這q種載流子；

基于計算的所述樣品中各類載流子的遷移率，根據公式3，確定所述樣品中各類載流子的濃度ni，

σ_i＝μ_in_ie 公式3，

式中，e為電子電量。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將樣品置于變磁場中，測量所述樣品的橫向電導率σ_xx和縱向電導率σ_xy，包括：

將所述樣品置于低溫、變磁場中，通過所述樣品的電極對所述樣品通入電流I_x，記錄所述樣品在電流方向上的電壓V_x以及電流垂直方向上的電壓V_y；

基于所述I_x、所述V_x以及所述V_y，計算所述樣品的橫向電阻R_xy和縱向電阻R_xx；

測試所述樣品 的長度、寬度以及高度，并基于所述R_xy和所述R_xx，計算所述樣品的橫向電阻率ρ_xy和縱向電阻率ρ_xx；

根據所述ρ_xy和所述ρ_xx，計算所述樣品的橫向電導率σ_xx和縱向電導率σ_xy。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述將所述樣品置于低溫、變磁場中，包括：

將所述樣品置于溫度為77K，磁場為±10T的環境中。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，3≤q≤7。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，q＝6。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

根據所述μ_i的符號來判斷所述載流子的類型。