[發明專利]一種基于單刀雙擲開關級聯的電子校準件

有效

• 申請號: 201911093446.2
• 申請日: 2019-11-11
• 公開（公告）號: CN110780252B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 吳倩楠;王姍姍;李孟委;李強;韓路路;范麗娜
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 申紹中

1.一種基于單刀雙擲開關級聯的電子校準件，其特征在于：包括襯底(1)，所述襯底表面上設置有微波傳輸組件，所述襯底表面上設置有50Ω/75Ω負載(2)，所述微波傳輸組件與50Ω/75Ω負載(2)連接；

所述微波傳輸組件包括對稱設置的信號線單元(3)、設置在信號線單元(3)周側的地線單元(4)、設置在信號線單元(3)所連接開關結構(9)下方的驅動電極(5)；所述信號線單元(3)采用T型信號線，所述T型信號線的外周側延伸出三個條形端口，所述端口分別為輸入端口(6)、第一輸出端口(7)和第二輸出端口(8)；

所述T型信號線包括第一T型信號線(3-1)、第二T型信號線(3-2)、第三T型信號線(3-3)、第四T型信號線(3-4)、第五T型信號線(3-5)，所述第一T型信號線(3-1)的輸入端口(6)通過開關結構(9)連接有第二T型信號線(3-2)的第一輸出端口(7)，所述第二T型信號線(3-2)的輸入端口(6)通過開關結構(9)連接有第三T型信號線(3-3)的第一輸出端口(7)，所述第三T型信號線(3-3)的第二輸出端口(8)通過開關結構(9)連接有第四T型信號線(3-4)的輸入端口(6)，所述第四T型信號線(3-4)的第二輸出端口(8)通過開關結構(9)連接有第五T型信號線(3-5)的輸入端口(6)；所述地線單元(4)包括第一地線(4-1)和第二地線(4-2)，所述第一T型信號線(3-1)、第二T型信號線(3-2)的第二輸出端口與第四T型信號線(3-4)、第五T型信號線(3-5)的第一輸出端口(7)均通過開關結構(9)連接在第二地線(4-2)上，所述第五T型信號線(3-5)的第二輸出端口(8)與第一T型信號線(3-1)的第一輸出端口(7)分別通過開關結構(9)連接有第一校準件端口(10)和第二校準件端口(11)；

所述開關結構包括懸臂梁(9-1)、錨點(9-2)和觸點(9-3)，所述錨點(9-2)固定在第一輸出端口(7)和第二輸出端口(8)上，所述懸臂梁(9-1)的一端固定在錨點(9-2)上，所述信號線的輸入端口(6)、第二地線(4-2)和校準件端口上均固定有觸點(9-3)，所述懸臂梁(9-1)的另一端設置在觸點(9-3)的正上方，所述懸臂梁(9-1)上設置有釋放孔(9-4)陣列。

2.根據權利要求1所述的一種基于單刀雙擲開關級聯的電子校準件，其特征在于：所述第一地線(4-1)分別設置在所述50Ω/75Ω負載(2)端口的兩側，所述第二地線(4-2)分別設置在輸入端口和輸出端口的夾角處。

3.根據權利要求1所述的一種基于單刀雙擲開關級聯的電子校準件，其特征在于：所述釋放孔(9-4)陣列為3-5排、6-10列，所述釋放孔(9-4)直徑大小為8-10μm，兩個相近釋放孔(9-4)之間距離為15-25μm。

4.根據權利要求1所述的一種基于單刀雙擲開關級聯的電子校準件，其特征在于：所述懸臂梁(9-1)的正下方位置處設置有驅動電極(5)，所述驅動電極(5)固定在襯底(1)上，所述驅動電極(5)連接有引線(12)，所述驅動電極(5)面向懸臂梁(9-1)的一面設置一層介質層(13)。

5.根據權利要求4所述的一種基于單刀雙擲開關級聯的電子校準件，其特征在于：所述介質層(13)采用氮化硅和氧化鉿。

6.根據權利要求1所述的一種基于單刀雙擲開關級聯的電子校準件，其特征在于：所述第三T型信號線(3-3)的輸入端口(6)通過單刀單擲開關連接有50Ω/75Ω負載(2)，所述50Ω/75Ω負載(2)與第三T型信號線(3-3)的輸入端口(6)之間通過單片集成或混合集成方式連接。