[發明專利]一種微結構靶標

在審

• 申請號: 201911087482.8
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN110779445A
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發明（設計）人: 景洪偉
• 申請（專利權）人: 四川拉姆達科技有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 51256 成都路航知識產權代理有限公司
• 代理人: 何筱茂

本發明公開了一種微結構靶標，包括基板和若干微結構單元，若干微結構單元以陣列方式設置于所述基板上；所述微結構單元是由3個相互垂直的面組成的三棱錐，三棱錐的底面設于所述基板上；每個所述微結構單元的形狀、大小相同，且排布一致，且相鄰所述微結構單元之間的距離小于微結構單元尺寸的1/10；整個微結構靶標中微結構單元的數量為10?100個，且每個所述微結構單元的尺寸范圍為10μm?100μm。本發明一種微結構靶標的應用范圍廣，產品可制成膜狀，使用時粘貼于目標物體上即可；本發明適用于微小目標、操作空間有限等無法使用普通靶球的地方，適用于激光跟蹤、激光掃描、目標獲取，且精準度和效率高。

技術領域

本發明涉及靶標技術領域，尤其涉及一種微結構靶標。

背景技術

激光跟蹤測量系統是工業測量系統中一種高精度的大尺寸測量儀器。它集合了激光干涉測距技術、光電探測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現代數值計算理論等各種先進技術，對空間運動目標進行跟蹤并實時測量目標的空間三維坐標。它具有高精度、高效率、實時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點，適合于大尺寸工件配裝測量。激光跟蹤測量系統基本都是由激光跟蹤頭(跟蹤儀)、控制器、用戶計算機、靶標及測量附件等組成。激光跟蹤測量系統的工作基本原理是在目標點上安置一個靶標，跟蹤頭(跟蹤儀)發出的激光射到靶標上，靶標作為反射器，又返回到跟蹤頭，當目標移動時，跟蹤頭調整光束方向來對準目標。同時，返回光束為檢測系統所接收，用來測算目標的空間位置。簡而言之，激光跟蹤測量系統所要解決的問題是靜態或動態地跟蹤一個在空間中運動的點，同時確定目標點的空間坐標。

然而，目前的適用于激光跟蹤、激光掃描、目標獲取中的目標越來越微小，目前普通靶球無法適用于微小目標、操作空間有限的地方。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是現有的普通靶球無法適用于微小目標、操作空間有限的地方，本發明提供了解決上述問題的一種微結構靶標，通過尺寸數十微米的小角錐陣列組成的微結構，適用于微小目標、操作空間有限等無法使用普通靶球的地方，適用于激光跟蹤，激光掃描，目標獲取。

本發明通過下述技術方案實現：

一種微結構靶標，所述微結構靶標包括基板和若干微結構單元，若干微結構單元以陣列方式設置于所述基板上；所述微結構單元是由3個相互垂直的面組成的三棱錐，三棱錐的底面設于所述基板上。

工作原理是：基于目前的適用于激光跟蹤、激光掃描、目標獲取中的目標越來越微小，目前普通靶球無法適用于微小目標、操作空間有限的地方；本發明采用上述方案把若干(即多個)微結構單元陣列排布設置于基板上，且每個微結構單元是由3個相互垂直的面組成的三棱錐，這樣通過多個微結構單元(即三棱錐)的各個面整體實現對跟蹤儀射來的激光進行反射；使用時，只需把本發明通過基板安裝固定即可，且本發明微結構靶標體型微小，操作使用方便，適用于微小目標、操作空間有限等無法使用普通靶球的地方，適用于激光跟蹤，激光掃描，目標獲取。

優選地，每個所述微結構單元的形狀、大小相同，且排布一致，利于對跟蹤儀射來的激光進行反射，且提高反射率，利于對激光的掃描或追蹤；相鄰所述微結構單元之間的距離小于微結構單元尺寸的1/10，這樣避免相鄰微結構單元之間的影響，利于各個微結構單元之間對激光反射的協助配合。

優選地，整個微結構靶標中微結構單元的數量為10-100個，且每個所述微結構單元的尺寸范圍為10μm-100μm，這樣每個微結構單元(即三棱錐)的尺寸數十微米左右，保證整個微結構靶標由數十個至數百個微結構單元組成時尺寸體型足夠小，又能實現高效反射。

優選地，所述微結構單元各個面的表面鍍有金膜，在反射面上鍍金膜能夠提高可見光波的反射率，且反射率達到90％以上。

優選地，所述基板的制作材料為石英玻璃或者塑料。

優選地，三棱錐的底面通過耐高溫膠帶或者PET離型膜粘貼于所述基板上，操作方便快捷，且穩固耐高溫。