[發(fā)明專利]一種機械手AWC糾偏系統(tǒng)實現(xiàn)方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911084727.1
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN112775956A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱洪彪;楊奇峰;徐方;譚學(xué)科;姚東東;凌霄
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B25J9/16
• 分類號: B25J9/16;B25J11/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 王倩

1.一種機械手AWC糾偏系統(tǒng)實現(xiàn)裝置，其特征在于，包括：

系統(tǒng)主控制器(1)，用于讀取機械手驅(qū)動器(3)存儲的碼盤值，通過計算得到機械手上的晶圓位置，并通過CAN總線與系統(tǒng)IO板卡(2)相連；

系統(tǒng)IO板卡(2)，用于處理激光傳感器輸出的電平信號，并將處理后的電平信號輸出給機械手驅(qū)動器(3)；

機械手驅(qū)動器(3)，用于存儲晶圓通過激光傳感器時產(chǎn)生的碼盤值；

激光傳感器，用于當(dāng)晶圓通過激光傳感器時產(chǎn)生電平信號，并輸出給系統(tǒng)IO板卡(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機械手AWC糾偏系統(tǒng)實現(xiàn)裝置，其特征在于，所述激光傳感器為兩個且位置相對于機器手運動軌跡不對稱。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機械手AWC糾偏系統(tǒng)實現(xiàn)裝置，其特征在于，所述系統(tǒng)主控制器(1)讀取機械手驅(qū)動器(3)存儲的碼盤值為4組，每組碼盤值對應(yīng)唯一的機械手空間坐標(biāo)值，通過其中任意三組機械手空間坐標(biāo)值可以唯一確定機械手上的晶圓位置，與開始設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)位置進行比較可以計算出此次晶圓的偏差。

4.一種機械手AWC糾偏系統(tǒng)實現(xiàn)方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)AWC數(shù)據(jù)采集：采集晶圓通過激光傳感器時激光傳感器所記錄的機器手手指中心坐標(biāo)；

2)AWC標(biāo)定：通過機器手手指中心坐標(biāo)以及晶圓半徑，計算得到激光傳感器在機器手基坐標(biāo)下的坐標(biāo)，用于以此坐標(biāo)為基準(zhǔn)進行自動糾偏功能；

3)再次采集AWC數(shù)據(jù)：采集晶圓通過激光傳感器時激光傳感器所記錄的機器手手指中心坐標(biāo)；

4)AWC偏差計算：通過激光傳感器在機器手基坐標(biāo)下的坐標(biāo)、手指中心在機器手基坐標(biāo)下的坐標(biāo)、晶圓中心的坐標(biāo)以及觸發(fā)點相對于機器手基坐標(biāo)原點的夾角，得到偏差值，用于實現(xiàn)機器手的自動糾偏功能。