[發(fā)明專利]閥控制裝置以及真空閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911079529.6
• 申請日: 2019-11-07
• 公開（公告）號: CN111609200B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小崎純一郎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F16K31/04
• 分類號: F16K31/04;F16K3/06;F16K51/02
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 薛恒;王琳

1.一種閥控制裝置，是對設(shè)置在真空腔室與真空泵之間的真空閥依次進行第一開度控制與第二開度控制，而朝目標(biāo)壓力控制所述真空腔室的腔室壓力的閥控制裝置，其包括：

生成部，生成第一設(shè)定壓力信號；以及

開度控制部，根據(jù)所述目標(biāo)壓力來進行第一開度控制，在所述第一開度控制之后，進行根據(jù)所述第一設(shè)定壓力信號與所述腔室壓力的差來實施反饋控制的第二開度控制；且

所述生成部根據(jù)以規(guī)定的時間常數(shù)，從自所述第一開度控制向所述第二開度控制的切換時的腔室壓力朝目標(biāo)壓力收斂的第一設(shè)定壓力軌道，生成所述第一設(shè)定壓力信號。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥控制裝置，其中所述時間常數(shù)根據(jù)所述切換時的腔室壓力及所述腔室壓力的時間微分值、與所述目標(biāo)壓力來算出。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的閥控制裝置，其中所述生成部根據(jù)所述第一設(shè)定壓力信號的時間變化及所述腔室壓力的時間變化，在各控制周期中修正所述第一設(shè)定壓力軌道的所述時間常數(shù)，且

根據(jù)以修正后時間常數(shù)朝所述目標(biāo)壓力收斂的第二設(shè)定壓力軌道，生成第二設(shè)定壓力信號，

所述開度控制部進行第三開度控制來代替所述第二開度控制，所述第三開度控制根據(jù)所述第二設(shè)定壓力信號與腔室壓力的差來實施反饋控制。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的閥控制裝置，其中在所述第一設(shè)定壓力信號的時間變化的大小比所述腔室壓力的時間變化的大小小的情況下，將所述修正后時間常數(shù)設(shè)定得比修正前的時間常數(shù)小，

在所述第一設(shè)定壓力信號的時間變化的大小比所述腔室壓力的時間變化的大小大的情況下，將所述修正后時間常數(shù)設(shè)定得比修正前的時間常數(shù)大，

在所述第一設(shè)定壓力信號的時間變化的大小與所述腔室壓力的時間變化的大小相等的情況下，將所述修正后時間常數(shù)設(shè)定成與修正前的時間常數(shù)相等。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的閥控制裝置，其中在將所述目標(biāo)壓力表示成Ps，將所述腔室壓力表示成Pr，將所述切換時的腔室壓力表示成Pr0的情況下，

所述時間常數(shù)通過式“|(Ps-Pr0)|/|(dPr/dt|0)|”來算出。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的閥控制裝置，其中所述生成部使用根據(jù)所述第一開度控制的控制誤差對所述時間常數(shù)進行修正所得的時間常數(shù)來代替所述時間常數(shù)，且

根據(jù)以所述經(jīng)修正的時間常數(shù)朝所述目標(biāo)壓力收斂的設(shè)定壓力軌道，生成所述第一設(shè)定壓力信號。

7.一種真空閥，包括：

閥體；

閥體驅(qū)動部，對所述閥體進行開閉驅(qū)動；以及

根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的閥控制裝置，對利用所述閥體驅(qū)動部的開閉驅(qū)動進行控制。