[發明專利]一種碳摻雜相變存儲材料靶材及其制備方法在審
| 申請號： | 201911079293.6 | 申請日： | 2019-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN110846626A | 公開（公告）日： | 2020-02-28 |
| 發明（設計）人： | 宋志棠;宋三年 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C22C28/00;H01L45/00 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫;賈允 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 摻雜 相變 存儲 材料 及其 制備 方法 | ||
1.一種碳摻雜相變存儲材料靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
獲取相變材料的原材料；
將所述原材料按照化學計量比混合獲得第一混合物，將所述第一混合物在設定溫度下加熱反應生成相變材料化合物；
將所述相變材料化合物采用高能球磨或者氣流磨的方法制成相變材料粉體；
將所述相變材料粉體與石墨烯均勻混合制成第二混合物；
將所述第二混合物通過真空熱壓燒結工藝制得所述靶材。
2.根據權利要求1所述的碳摻雜相變存儲材料靶材的制備方法，其特征在于，所述相變材料化合物為硫系化合物，所述相變材料化合物包括鍺銻碲合金、銻碲合金、鍺碲合金、鈦銻碲合金或鉭銻碲合金。
3.根據權利要求1所述的碳摻雜相變存儲材料靶材的制備方法，其特征在于，所述石墨烯的加入量為4mol％-25mol％。
4.根據權利要求1所述的碳摻雜相變存儲材料靶材的制備方法，其特征在于，所述相變材料粉體的顆粒尺寸為1－20微米。
5.根據權利要求1所述的碳摻雜相變存儲材料靶材的制備方法，其特征在于，所述設定溫度為300-900℃。
6.一種碳摻雜相變存儲材料靶材，其特征在于，所述靶材由權利要求1-5任意一項所述碳摻雜相變存儲材料靶材的制備方法制備而成；
所述靶材的組分包括相變材料化合物和石墨烯。
7.根據權利要求6所述的碳摻雜相變存儲材料靶材，其特征在于，所述靶材的顆粒尺寸為1-20微米。
8.根據權利要求6所述的碳摻雜相變存儲材料靶材，其特征在于，所述靶材的含氧量低于200ppm。
9.根據權利要求6所述的碳摻雜相變存儲材料靶材，其特征在于，所述石墨烯含量為4mol％-25mol％。
10.根據權利要求6所述的碳摻雜相變存儲材料靶材，其特征在于，所述相變材料化合物為硫系化合物，所述相變材料化合物包括鍺銻碲合金、銻碲合金、鍺碲合金、鈦銻碲合金或鉭銻碲合金。
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