[發明專利]氣體混合輸出系統及方法

在審

• 申請號: 201911075458.2
• 申請日: 2019-11-06
• 公開（公告）號: CN112780947A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 簡士堡;李仁捷;陳煖妮
• 申請（專利權）人: 信纮科技股份有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00
• 代理公司: 北京偉思知識產權代理事務所(普通合伙) 11725
• 代理人: 聶寧樂;張莉

1.一種氣體混合輸出系統，包括：

多個氣體供應單元，用以供應多種氣體，且所述多種氣體系混合成一混合氣體；

一氣體穩壓裝置，連通于所述多個氣體供應單元，用以調控所述混合氣體在一預設壓力范圍；以及

一氣體緩沖單元，連通于所述氣體穩壓裝置，用以回授所述混合氣體的一輸出流量值及一輸出壓力值至所述多個氣體供應單元，使所述多個氣體供應單元依據所述輸出流量值及所述輸出壓力值調節來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的流量；

其中，所述氣體穩壓裝置包括一氣體壓力計及一壓力控制器，所述氣體壓力計系用以監測所述混合氣體的壓力值，且所述壓力控制器系用以控制所述混合氣體的壓力值；所述壓力控制器系通信連接于所述氣體壓力計；當來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的流量產生變化，且所述氣體壓力計監測來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的壓力值超出所述預設壓力范圍時，所述壓力控制器從所述氣體壓力計接收一第一調控訊號，且所述壓力控制器根據所述第一調控訊號開始動作，使所述混合氣體的壓力值回歸所述預設壓力范圍。

2.如權利要求1所述的氣體混合輸出系統，其中，包括一氣體混合裝置，連通于所述多個氣體供應單元，使所述多種氣體在所述氣體混合裝置內混合成所述混合氣體。

3.如權利要求2所述的氣體混合輸出系統，其中，所述氣體穩壓裝置系設置于所述氣體混合裝置與所述氣體緩沖單元之間，且連通于所述氣體混合裝置與所述氣體緩沖單元。

4.如權利要求2所述的氣體混合輸出系統，其中，所述氣體穩壓裝置系設置于所述多個氣體供應單元與所述氣體混合裝置之間，且連通于所述多個氣體供應單元與所述氣體混合裝置。

5.如權利要求1所述的氣體混合輸出系統，其中，當所述混合氣體在所述多個氣體供應單元的流量變大時，所述壓力控制器的開度隨之變大，使所述混合氣體在所述多個氣體供應單元的一次側及二次側的壓力差值保持在一預定范圍內；當所述混合氣體在所述多個氣體供應單元的流量變小時，所述壓力控制器的開度隨之變小，使所述混合氣體在所述多個氣體供應單元的一次側及二次側的壓力差值保持在所述預定范圍內。

6.如權利要求1所述的氣體混合輸出系統，其中，所述氣體緩沖單元通信連接至所述多個氣體供應單元，當所述氣體緩沖單元輸出的所述混合氣體的所述輸出壓力值大于或小于一輸出預設值時，所述氣體緩沖單元傳遞一第二調控訊號至所述多個氣體供應單元中的至少一個，使所述多個氣體供應單元中的至少一個根據所述第二調控訊號調控所述多種氣體中的至少一種的輸出流量。

7.如權利要求1所述的氣體混合輸出系統，其中，當來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的流量產生變化，且所述氣體壓力計監測來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的壓力值超出所述預設壓力范圍時，所述壓力控制器與所述氣體壓力計循環回授且調節所述混合氣體的壓力值，直到所述混合氣體的壓力值回歸且維持在所述預設壓力范圍。

8.一種氣體混合輸出方法，包括：

提供多種氣體；

混合所述多種氣體成一混合氣體；

利用一氣體穩壓裝置，調控所述混合氣體在一預設壓力范圍；以及

利用一氣體緩沖單元，回授所述混合氣體的一輸出流量值及一輸出壓力值至供應所述多種氣體的多個氣體供應單元，使所述多個氣體供應單元依據所述輸出流量值及所述輸出壓力值調節來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的流量，所述氣體緩沖單元連通于所述氣體穩壓裝置；

其中，所述氣體穩壓裝置包括一氣體壓力計及一壓力控制器，所述氣體壓力計系用以監測所述混合氣體的壓力值，且所述壓力控制器系用以控制所述混合氣體的壓力值；所述壓力控制器系通信連接于所述氣體壓力計；當來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的流量產生變化，且所述氣體壓力計監測來自所述多個氣體供應單元的所述混合氣體的壓力值超出所述預設壓力范圍時，所述壓力控制器從所述氣體壓力計接收一第一調控訊號，且所述壓力控制器根據所述第一調控訊號開始動作，使所述混合氣體的壓力值回歸所述預設壓力范圍。