[發明專利]溫度感測裝置以及使用其的溫度感測系統

在審

• 申請號: 201911070327.5
• 申請日: 2019-11-05
• 公開（公告）號: CN112240803A
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發明（設計）人: 李泰昊;李珖文;黃斗鐵
• 申請（專利權）人: 愛思開海力士有限公司;HJS工程有限公司
• 主分類號: G01J5/02
• 分類號: G01J5/02;G01J5/10
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 王建國;許偉群

本申請公開了溫度感測裝置以及使用溫度感測裝置的溫度感測系統。該溫度感測裝置可包括本體、與本體結合的管和溫度傳感器。溫度傳感器被配置為在不與管中的物體接觸的情況下測量所述物體的溫度。本體可包括與物體的溫度感測區域相鄰地形成的氣室。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2019年7月16日在韓國知識產權局提交的申請號為10-2019-0085692的韓國專利申請的優先權，其全部內容通過引用合并于此。

技術領域

各種實施例總體而言涉及夾型非接觸式溫度感測裝置以及使用其的溫度感測系統。

背景技術

可以使用各種種類的制造裝置來制造半導體器件。該制造設備可以包括清潔裝置。為了使清潔裝置在具有提高的清潔能力的同時以最佳速率刻蝕晶片，實時監視并控制流體(例如流過全氟烷氧基樹脂(PFA)管的各種種類的化學制品和超純水)的溫度是非常重要的。

根據相關技術，可以通過使溫度傳感器與流體直接接觸來測量管中的流體的溫度。這種方式可能會引起溫度傳感器的頻繁出現的故障、歸因于溫度傳感器中的金屬的腐蝕的化學污染等。

此外，可以從PFA管的溫度來獲得管中流體的溫度。但是，由于PFA管具有低的導熱性，所以PFA管的溫度可能與流體的實際溫度相差很大。

因此，需要準確地測量管的溫度并防止管中的化學污染。

發明內容

在本公開的示例實施例中，一種溫度感測裝置可以包括本體和溫度傳感器。溫度傳感器可以被配置為在不與管中的物體接觸的情況下測量所述物體的溫度。該本體可以包括：與物體的溫度感測區域相鄰地形成的氣室、以及形成在本體中以與管結合的管結合槽。

在本公開的示例實施例中，一種溫度感測系統可以包括溫度感測裝置和溫度計算裝置。溫度感測裝置可以被配置為：通過檢測從物體輻射的紅外線能量來測量物體的表面溫度，以及測量物體的溫度感測區域的環境溫度。溫度計算裝置可以被配置為將物體的表面溫度和環境溫度應用于實際溫度計算準則以計算物體的實際溫度。

附圖說明

根據結合附圖進行的以下詳細描述，將會更加清楚地理解本公開的主題的上述和另一些方面、特征和優點，在附圖中：

圖1是示出根據示例實施例的溫度感測裝置的視圖；

圖2是示出根據示例實施例的與管組合的溫度感測裝置的剖視圖；

圖3和圖4是示出根據示例實施例的溫度感測裝置的視圖；

圖5是按照管尺寸示出根據示例實施例的溫度感測裝置的視圖；

圖6是示出根據示例實施例的溫度感測系統的視圖；以及

圖7是示出根據示例實施例的溫度感測系統的控制框圖。

具體實施方式

將參考附圖更詳細地描述本發明的各個實施例。附圖是各種實施例(和中間結構)的示意圖。照此，可以預期由于例如制造技術和/或公差引起的圖示的配置和形狀的變化。因此，所描述的實施例不應被解釋為限于在此示出的特定配置和形狀，而是可以包括在不脫離如在所附權利要求書中限定的本發明的精神和范圍的配置和形狀上的偏差。

這里參考本發明的理想實施例的剖視圖和/或平面圖描述本發明。然而，本發明的實施例不應被解釋為限制發明構思。盡管將示出和描述本發明的一些實施例，但是本領域普通技術人員將理解，可以在不脫離本發明的原理和精神的情況下對這些實施例進行改變。

將理解的是，當元件被稱為“連接”或“耦接”到另一元件時，它可以直接連接或耦接到另一元件，或者也可以存在居間元件。相反，當元件被稱為“直接連接”或“直接耦接”至另一元件時，不存在居間元件。