[發明專利]轉移裝置及其清潔方法

有效

• 申請號: 201911068959.8
• 申請日: 2019-11-05
• 公開（公告）號: CN111332734B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 金大鎮
• 申請（專利權）人: 夏泰鑫半導體（青島）有限公司
• 主分類號: B65G45/10
• 分類號: B65G45/10;B65G43/08
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 44334
• 代理人: 彭輝劍;龔慧惠

1.一種轉移裝置，包括：

轉移室，用于放置半導體晶片；

真空系統，用于吸取所述轉移室內的顆粒，設置在所述轉移室下方，所述真空系統包括連通所述轉移室的抽氣管；和

熱電裝置，設置在所述抽氣管上；

其特征在于，所述熱電裝置包括一冷卻裝置和一監測裝置；

所述冷卻裝置設置在所述轉移室下方并用于冷卻所述轉移室，所述轉移室中被冷卻的顆粒掉落至所述轉移室下部，所述冷卻裝置包括多個帕爾帖元件和一多邊形殼體，所述多邊形殼體設置在所述抽氣管上，所述多個帕爾帖元件設置在所述多邊形殼體上；

所述監測裝置設置在所述冷卻裝置上并連通所述抽氣管，所述監測裝置用于檢測所述轉移室內的顆粒濃度；

當檢測的顆粒濃度大于或等于一預設值時，所述監測裝置發出清潔警報。

2.如權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述多個帕爾帖元件設置在所述多邊形殼體的外表面，并且所述多個帕爾帖元件相互并聯或串聯；所述多個帕爾帖元件布置成與多邊形殼體的外周形狀匹配的陣列結構。

3.如權利要求1所述的轉移裝置，其特征在于，所述監測裝置包括顆粒傳感器，所述顆粒傳感器用于檢測所述抽氣管中的顆粒濃度。

4.如權利要求3所述的轉移裝置，其特征在于，所述顆粒傳感器通過一連接管連通所述抽氣管，所述抽氣管中的樣本顆粒進入所述連接管以激發所述顆粒傳感器。

5.如權利要求3所述的轉移裝置，其特征在于，所述監測裝置包括溫度傳感器，所述溫度傳感器用于檢測所述多邊形殼體的溫度。

6.如權利要求3所述的轉移裝置，其特征在于，所述監測裝置包括警報裝置，所述顆粒傳感器與所述警報裝置電連接，當所述顆粒傳感器檢測的顆粒濃度大于或等于所述預設值時，所述警報裝置發出清潔提示信息。

7.一種轉移裝置，包括：

轉移室，用于放置半導體晶片；

真空系統，用于吸取所述轉移室內的顆粒，設置在所述轉移室下方，所述真空系統包括連通所述轉移室的抽氣管；和

熱電裝置，設置在所述抽氣管上；

其特征在于，所述熱電裝置包括一冷卻裝置和一監測裝置；

所述冷卻裝置設置在所述轉移室下方并用于冷卻所述轉移室，所述轉移室中被冷卻的顆粒掉落至所述轉移室下部，所述冷卻裝置包括多個帕爾帖元件，所述抽氣管為六邊形管道，所述多個帕爾帖元件設置在所述抽氣管的外表面；

所述監測裝置設置在所述冷卻裝置上并連通所述抽氣管，所述監測裝置用于檢測所述轉移室內的顆粒濃度，所述監測裝置通過一連接管連通所述抽氣管；

當檢測的顆粒濃度大于或等于一預設值時，所述監測裝置發出清潔警報。

8.一種清潔方法，用于清潔權利要求1-6中任一項所述的轉移裝置中的轉移室，其特征在于，所述清潔方法包括：

傳送機構移動晶片至轉移室；

冷卻裝置中的多個帕爾帖元件冷卻所述轉移室，所述冷卻裝置位于所述轉移室下方，所述轉移室中的顆粒被冷卻并落到所述轉移室的下部；

真空系統從所述轉移室中抽取顆粒，所述真空系統位于所述轉移室下方；

監測裝置檢測所述轉移室內的顆粒濃度；

當所述監測裝置測得的顆粒濃度大于或等于一預設值時，所述監測裝置發出一警報信號；

警報裝置根據所述警報信號發送清潔提示信息。

9.如權利要求8所述的清潔方法，其特征在于，所述清潔方法還包括：

所述監測裝置檢測所述真空系統中抽氣管的溫度；

當所述監測裝置測得的抽氣管的溫度大于或等于一預設值時，所述監測裝置發送一高溫信號至所述警報裝置。