[發明專利]立型可填充的二氯硅烷容器

在審

• 申請號: 201911066288.1
• 申請日: 2019-11-04
• 公開（公告）號: CN112758541A
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 姚珈蔚
• 申請（專利權）人: 姚珈蔚
• 主分類號: B65D90/12
• 分類號: B65D90/12;B65D88/74
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 周鶴

本發明公開了一種立型可填充的二氯硅烷容器，其包括有：一容器本體呈圓桶狀并形成有一環圈部、一圓弧底部及一圓弧頂部，該圓弧頂部于四個對角皆設有一吊耳，一座板對稱開設有兩堆高機插設孔，且該座板以四支撐桿固定于該容器本體而形成有呈開放狀的一加熱空間，一作動閥組以一圓盤固定于圓弧頂部且固定有一第一閥管、一第二閥管、一備用閥管及一氣動閥，借由該吊耳與該堆高機插設孔的四角對稱結構，讓該容器本體能穩定保持直立狀而進行搬運，再借由開放狀的該加熱空間，使二氯硅烷(SiH₂Cl₂)能通過加熱方式氣化，進而在不需要傾倒該容器本體狀態下重新裝填二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液體，以使二氯硅烷容器具有重復使用與提高安全性的功效。

技術領域

本發明是有關于一種化學溶液儲存容器，尤其是指一種兼具使用安全性與重復填裝使用的立型可填充的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)容器。

背景技術

二氯硅烷(縮寫DCS)，是一種無機化合物，化學式為H₂SiCl₂，二氯硅烷可以用來做微電子里的半導體硅層的起始物料，其優點是它在較低溫度可以分解，并且有較高的硅晶體生長速率，由于二氯硅烷是一種化學性質活潑的氣體，在空氣中可以迅速水解并自燃，因此接觸空氣會有產生爆炸的風險，該二氯硅烷的毒性也很大，利用它的任何實驗都需要有完善的保護性措施，是故在儲存容器的使用、搬運與填裝皆需要相當注重，導致大多數用于儲存二氯硅烷的容器皆會采用少量瓶裝，借此降低其風險與損害程度，但小型瓶裝會增加搬運、換裝的次數，導致無法有效的提高安全性，是故，本創作為克服上述缺點，進一步改良大型儲存容器，使400公升左右的二氯硅烷容器能兼具使用安全性與方便重新填裝的功能。

有鑒于此，本發明人于多年從事相關產品的制造開發與設計經驗，針對上述的目標，詳加設計與審慎評估后，終得一確具實用性的本發明。

發明內容

本發明所欲解決的技術問題在于針對現有技術存在的上述缺失，提供一種立型可填充的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)容器。

本發明提供的立型可填充的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)容器包括：一容器本體呈圓桶狀并形成有一環圈部，且該環圈部向一端延伸有一圓弧底部，而該環圈部向另一端延伸有一圓弧頂部，該環圈部的直徑介于750mm至860mm之間，且該圓弧底部至該圓弧頂部之間的最長距離介于900mm至1000mm之間，該容器本體能容納360公升至440公升之間的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液體，該圓弧頂部于四個對角皆設有一吊耳，一座板對稱開設有兩堆高機插設孔，且該座板呈十字相對狀而豎立有四支撐桿，該座板以該四支撐桿連接固定于該容器本體的環圈部，讓該圓弧底部與該座板之間形成有呈開放狀的一加熱空間，一作動閥組以一圓盤固定于該圓弧頂部，且該圓盤上固定有一第一閥管、一第二閥管、一備用閥管及一氣動閥，該第一閥管相通該容器本體以用于灌入二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液體，該第二閥管相通該容器本體以用于輸出二氯硅烷(SiH₂Cl₂)氣體，該備用閥管相通該容器本體以用于取代該第一閥管、該第二閥管或該氣動閥，該氣動閥相通該容器本體以用于控制二氯硅烷(SiH₂Cl₂)進出該容器本體的流量大小，借由四個該吊耳與兩個該堆高機插設孔的四角對稱結構，讓該容器本體能穩定保持直立狀而進行搬運，再借由開放狀的該加熱空間，使該容器本體內的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)殘液能通過加熱方式完全氣化，進而在不需要傾倒該容器本體狀態下，由該第一閥管處重新裝填二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液體，以具有重復使用與提高安全性的功效。

其中，該備用閥管組裝有一壓力表。