[發明專利]一種傾斜多極桿導引系統

有效

• 申請號: 201911060892.3
• 申請日: 2019-11-01
• 公開（公告）號: CN110767526B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 何洋;姚如嬌;齊曉軍;丁正知;朱勇勇
• 申請（專利權）人: 上海裕達實業有限公司
• 主分類號: H01J49/06
• 分類號: H01J49/06;H01J49/26
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 李佳俊;郭國中

1.一種傾斜多極桿導引系統，其特征在于，包括4根桿狀電極，其中，至少有一根桿狀電極保持水平軸向位置，至少有一根桿狀電極和水平軸向設置的桿狀電極的軸線不平行，偏離角度為α，所述4根桿狀電極的一端位于同一個小圓平面上，所述4根桿狀電極的另一端位于同一個大圓平面上；所述大圓平面上的桿狀電極端為寬口端，所述小圓平面上的桿狀電極端為小口端，所述寬口端為離子引入方向，所述離子引入方向不能對應小口端的軸線位置，需要靠近偏離軸線的電極位置。

2.根據權利要求1所述的一種傾斜多極桿導引系統，其特征在于，所述偏離角度為0＜α≤45°。

3.根據權利要求1所述的一種傾斜多極桿導引系統，其特征在于，包括4根桿狀電極，分別為第一桿狀電極、第二桿狀電極、第三桿狀電極和第四桿狀電極，所述第二桿狀電極和第三桿狀電極相對平行設置，所述第一桿狀電極和第四桿狀電極相對設置，其中，所述第二桿狀電極、第三桿狀電極和第四桿狀電極平行放置，所述第一桿狀電極偏離軸線，第一桿狀電極的長度大于其他三根桿狀電極的長度，其投射到軸線的長度和其他三根桿狀電極的長度一致。

4.根據權利要求1所述的一種傾斜多極桿導引系統，其特征在于，包括4根桿狀電極，分別為第一桿狀電極、第二桿狀電極、第三桿狀電極和第四桿狀電極，所述第二桿狀電極和第三桿狀電極相對設置，所述第一桿狀電極和第四桿狀電極相對設置，其中，所述第二桿狀電極與軸線平行放置，所述第一桿狀電極、第三桿狀電極和第四桿狀電極偏離軸線，所述第一桿狀電極、第三桿狀電極和第四桿狀電極的長度大于所述第二桿狀電極的長度，偏離軸線的三根桿狀電極投射到軸線的長度和第二桿狀電極的長度一致。

5.根據權利要求3或4所述的一種傾斜多極桿導引系統，其特征在于，兩組相對設置的桿狀電極在同一時間保持大小相等、方向相反的射頻電壓施加。

6.根據權利要求3或4所述的一種傾斜多極桿導引系統，其特征在于，偏離軸線的桿狀電極的偏離角度α為15°。

7.根據權利要求1至4任一項所述的一種傾斜多極桿導引系統，其特征在于，所述傾斜多極桿導引系統需要應用于真空環境下，環境真空度為P，其具體范圍是a)2000Pa≥P≥200Pa或b)199Pa≥P≥100Pa或c)99Pa≥P。