[發(fā)明專利]一種單晶硅片背面減薄用砂輪及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911057003.8
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN110759734B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史冬麗;馬堯
• 申請（專利權(quán)）人: 鄭州伯利森新材料科技有限公司
• 主分類號: C04B35/52
• 分類號: C04B35/52;C04B35/622;C04B35/626;C04B38/06;B24D3/18;B24D18/00
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1.一種硅片背面減薄砂輪的制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

SS1.將正硅酸乙酯、無水乙醇、去離子水在容器中水解，形成氧化硅水溶膠，其中，以體積計(jì)，正硅酸乙酯的體積分?jǐn)?shù)為50-60％、無水乙醇的體積分?jǐn)?shù)為26-35％、去離子水的體積分?jǐn)?shù)為15-25％，各組分用量百分?jǐn)?shù)之和等于100％；

SS2.將硝酸鈉、硝酸鈣、硝酸鎂、硝酸鋰、硝酸鋁、硼酸溶解于水中，攪拌均勻后形成鹽溶液，其中，以質(zhì)量計(jì)，硝酸鈉8-15％、硝酸鈣9-16％、硝酸鎂12-18％、硝酸鋰12-20％、硝酸鋁29-38％、硼酸8-15％；

SS3.將步驟SS1制備的氧化硅水溶膠加入到步驟SS2制備的鹽溶液中，攪拌均勻得氧化硅水溶膠與鹽溶液的混合溶液；

SS4.將磨料、分散劑加入到步驟SS3制備的混合溶液中，超聲分散均勻，形成懸浮液，其中，以質(zhì)量計(jì)，磨料3-8％、分散劑1-6％、鹽溶液75-85％、氧化硅水溶膠8-15％，所述磨料為普通金剛石、含硼金剛石、碳化硅、立方碳化硅中的任一種或幾種，所述磨料的粒度為0.1-10μm；

SS5.將單體、交聯(lián)劑、引發(fā)劑分別加入到步驟SS4制備的懸浮液中形成凝膠，其中，以質(zhì)量計(jì)，單體6-12％、交聯(lián)劑1-4％、引發(fā)劑0.2-1.2％、懸浮液86-95％，各組分用量百分?jǐn)?shù)之和等于100％；所述單體為丙烯酰胺、交聯(lián)劑為N,N-亞甲基雙丙烯酰胺、引發(fā)劑為過硫酸銨；

SS6.將步驟SS5制備的凝膠在一定的溫度下干燥，形成干凝膠，其中，凝膠的干燥溫度120-180℃，干燥時(shí)間5-8h；

SS7.將步驟SS6制備的干凝膠在580-630℃的溫度下煅燒3-8h，形成含磨料及結(jié)合劑且結(jié)合劑包覆磨料的混合陶瓷粉體；

SS8.將步驟SS7制備的陶瓷粉體分別加入造孔劑、潤濕劑，得到成型料，其中，以質(zhì)量計(jì)，成型料的各成分如下：含磨料及結(jié)合劑的混合陶瓷粉體80-90％、造孔劑2-8％、潤濕劑8-10％，各組分用量百分?jǐn)?shù)之和等于100％，所述造孔劑為樹脂粉、樹脂空心球、精萘或糊精粉，所述潤濕劑為石蠟、糊精液、聚乙烯醇溶液或水玻璃液；

SS9.將步驟SS8制備的成型料冷壓成型后，在650-750℃的溫度下燒結(jié)2-6h，形成具有一定形狀的塊體；

SS10.將步驟SS9燒結(jié)的塊體進(jìn)行精加工，制成所需尺寸的砂輪塊體；

SS11.將步驟SS10的砂輪塊粘結(jié)在基體上，制備成砂輪；

SS12.將步驟SS11制備的砂輪進(jìn)行精加工后得到成品。

2.一種硅片背面減薄砂輪，所述砂輪根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法制備得到。