[發(fā)明專利]一種用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911054397.1 | 申請日： | 2019-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN110849940A | 公開（公告）日： | 2020-02-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 吳進;奚亞男;胡淑錦 | 申請（專利權）人： | 惠州市鈺芯電子材料有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12;G01N27/04 |
| 代理公司： | 佛山幫專知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 曾鳳云 |
| 地址： | 510000 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 二氧化氮 檢測 柔性 硫化 石墨 氣體 傳感器 制備 方法 | ||
1.一種用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器，其特征在于，所述氣體傳感器包括柔性基底和電極層，所述柔性基底表面修飾所述電極層，其中所述電極層包括3D SnS2/RGO異質(zhì)結(jié)構層。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器，其特征在于，所述柔性基底材料為LCP。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、3D SnS2/RGO的制備：在持續(xù)攪拌條件下，將硫代乙酰胺和五水合氯化錫加入氧化石墨烯溶液中，所得混合物超聲溶解后轉(zhuǎn)移到反應釜中進行水熱反應，將所得產(chǎn)物離心處理并洗滌，獲得固態(tài)SnS2/RGO產(chǎn)物；
S2、SnS2/RGO氣體傳感器的制備：使用光刻膠在硅片上綁定雙面覆銅的LCP薄膜，通過蝕刻方式去除所述LCP薄膜表面裸露的銅層，在其表面旋涂光刻膠層，濺射Cr/Au層，采用剝離技術在LCP基板上加工叉指電極，將所述步驟S1制得的固態(tài)SnS2/RGO再分散在去離子水中制得水分散體，將其沉積在LCP基板的叉指電極表面，風干后制得氣體傳感器。
4.根據(jù)權利要求3所述方法制備的用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟S1中，硫代乙酰胺、五水合氯化錫和氧化石墨烯的質(zhì)量比為30∶35∶4。
5.根據(jù)權利要求3所述方法制備的用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述水熱反應條件為在180℃條件下加熱10～12h。
6.根據(jù)權利要求3所述方法制備的用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟S2中，所述硅片厚度為300μm。
7.根據(jù)權利要求3所述方法制備的用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟S2中，所述旋涂光刻膠厚度為5μm。
8.根據(jù)權利要求3所述方法制備的用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟S2中，濺射Cr層厚度為8nm，Au層厚度為280nm。
9.根據(jù)權利要求3所述方法制備的用于二氧化氮檢測的3D柔性二硫化錫/石墨烯氣體傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟S2中，所述水分散體的濃度為2.0mg/mL。
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