[發明專利]感光性樹脂組合物和感光性干膜在審
| 申請號： | 201911050756.6 | 申請日： | 2019-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN111142332A | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發明（設計）人： | 市岡揚一郎;近藤和紀 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 杜麗利 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 樹脂 組合 | ||
【權利要求書】：
1.感光性樹脂組合物，其包含
(A)具有酚羥基的樹脂，和
(B)每分子含有1至8個環氧基的、含有選自氮、硫和磷的至少一種元素且具有50至6,000分子量的化合物形式的環氧添加劑，
相對于每100重量份所述樹脂(A)，所述環氧添加劑(B)以0.1至18重量份的量存在。
2.根據權利要求1所述的組合物，其中，所述樹脂(A)為選自由聚苯并噁唑、聚酰亞胺、環氧樹脂、有機硅改性的聚苯并噁唑、有機硅改性的聚酰亞胺和有機硅改性的環氧樹脂組成的組中的至少一種。
3.權利要求1所述的組合物，其還包含(C)交聯劑。
4.權利要求1所述的組合物，其還包含(D)光致產酸劑。
5.權利要求1所述的組合物，其還包含(E)有機溶劑。
6.由權利要求1所述的感光性樹脂組合物獲得的感光性樹脂涂層。
7.包含權利要求6所述的感光性樹脂涂層的感光性干膜。
8.圖案形成方法，包括以下步驟：
(i)使用權利要求1所述的感光性樹脂組合物在基底上形成感光性樹脂涂層，
(ii)將所述感光性樹脂涂層曝光于輻射，和
(iii)用顯影劑將曝光的感光性樹脂涂層顯影。
9.圖案形成方法，包括以下步驟：
(i)使用權利要求7所述的感光性干膜在基底上形成感光性樹脂涂層，
(ii)將所述感光性樹脂涂層曝光于輻射，和
(iii)用顯影劑將曝光的感光性樹脂涂層顯影。
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