[發明專利]一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置及開方機

在審

• 申請號: 201911049805.4
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN110749302A
• 公開（公告）日: 2020-02-04
• 發明（設計）人: 黃奇勛;林孝獅;黃田玉;李元業;林劍煌;林光展
• 申請（專利權）人: 福州天瑞線鋸科技有限公司
• 主分類號: G01B21/22
• 分類號: G01B21/22;G01B21/20;G01C1/00;B28D5/04;B28D7/04
• 代理公司: 35219 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 黃以琳;施文武

1.一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，包括測量件、豎向驅動機構、縱向驅動機構；

所述豎向驅動機構包括伺服電機、豎向螺桿、連接座及滑軌；所述滑軌豎向設置于夾持機構的夾持座處；所述連接座設置有滑塊，連接座與滑軌相對設置，且滑塊可豎向滑動地安裝于滑軌內；所述伺服電機設置于夾持機構的夾持座處，且伺服電機的輸出軸豎向設置；所述豎向螺桿與伺服電機的輸出軸同軸連接，連接座開設有豎向的螺紋孔，豎向螺桿螺紋傳動地穿過連接座的螺紋孔；

所述縱向驅動機構設置于連接座處，用于驅動測量件在水平面內，以垂直單晶硅棒的長度方向移動；所述測量件與縱向驅動機構連接，且相對連接座豎直向上凸出。

2.根據權利要求1所述的單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述滑軌設置有兩條，兩條滑軌均豎向設置于夾持機構的夾持座處，所述螺紋桿位于兩條滑軌之間；所述連接座設置有兩個滑塊，兩個滑塊分別可豎向滑動地安裝于兩個滑軌內。

3.根據權利要求1所述的單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，還包括減速機，所述伺服電機通過減速機與豎向螺桿連接。

4.根據權利要求1所述的單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述縱向驅動機構為無桿氣缸，所述無桿氣缸設置于連接座處，所述測量件與移動滑塊連接。

5.根據權利要求1所述的單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，還包括豎向螺桿固定座，所述豎向螺桿固定座設置有軸承；豎向螺桿固定座設置于夾持機構的夾持座處，且與伺服電機正對；所述豎向螺桿未與伺服電機連接的一端穿于軸承內。

6.根據權利要求1所述的單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述連接座設置有傳動螺母，所述螺紋孔設置于傳動螺母處；所述螺紋桿螺紋穿過傳動螺母。

7.一種開方機，其特征在于，包括開方機本體及單晶硅棒切割面角度檢測裝置，所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置為權利要求1-6任一所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置；所述單晶硅棒切割面角度檢測裝置設置于開方機本體的兩個夾持座之間，且位于兩個夾持機構所夾持的單晶硅棒下方，并與夾持座連接。