[發明專利]一種粒子束發射角的測量裝置有效
| 申請號： | 201911048797.1 | 申請日： | 2019-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN110686817B | 公開（公告）日： | 2020-06-23 |
| 發明（設計）人： | 李海龍;鄒同琨;王茂琰;殷勇;王彬;蒙林;張平;袁學松;陸歡歡 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01L5/00 | 分類號： | G01L5/00;G01T5/00;H01J37/244 |
| 代理公司： | 成都正華專利代理事務所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 陳選中 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 粒子束 發射 測量 裝置 | ||
1.一種粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，包括粒子加速器(1)、絕緣墊(2)、控制開關(3)、壓力傳感陣列(4)、陣列絕緣板(5)、數據收集器(6)、數據處理器(7)和數據同步顯示器(8)，其中：
所述粒子加速器(1)與所述壓力傳感陣列(4)連接；
所述壓力傳感陣列(4)與所述數據收集器(6)連接；
所述數據收集器(6)與所述數據處理器(7)連接；
所述數據處理器(7)與所述數據同步顯示器(8)連接；
所述壓力傳感陣列(4)分布于所述陣列絕緣板(5)上；
所述絕緣墊(2)位于所述壓力傳感陣列(4)下；
所述控制開關(3)分別位于所述陣列絕緣板(5)的前壁和后蓋上，并與所述壓力傳感陣列(4)連接。
2.根據權利要求1所述的粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，所述壓力傳感陣列(4)中各壓力傳感器均為壓阻式壓力傳感器，相鄰壓力傳感器之間有一間隙并相互咬合分布于所述陣列絕緣板(5)上，且任意兩個壓力傳感器之間電絕緣。
3.根據權利要求2所述的粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，每個所述壓力傳感器內設置有電阻R1、電阻R2、電阻R3、電阻R4以及彈性平行梁(13)，其中：
所述電阻R1和電阻R3分別粘貼于所述彈性平行梁(13)的上表面；
所述電阻R2和電阻R4分別粘貼于所述彈性平行梁(13)的下表面。
4.根據權利要求3所述的粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，每個所述壓力傳感器包括由引線(9)、敏感柵(10)、基底(11)和覆蓋層(12)構成的應變片，且所述應變片與外部測量電路連接，其中：
所述基底(11)與所述彈性平行梁(13)連接；
所述引線(9)與所述敏感柵(10)連接；
所述敏感柵(10)通過黏合劑與所述基底(11)連接；
所述覆蓋層(12)覆蓋于所述引線(9)與所述敏感柵(10)上方。
5.根據權利要求3所述的粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，所述彈性平行梁(13)的一端固定，另一端懸空。
6.根據權利要求1所述的粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，所述壓力傳感陣列(4)的粒子收集端為黃銅。
7.根據權利要求1所述的粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，所述陣列絕緣板(5)采用高分子合成樹脂制成。
8.根據權利要求1所述的粒子束發射角的測量裝置，其特征在于，所述絕緣墊(2)采用特氟龍材料制成。
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