[發(fā)明專利]一種為多面共體反射鏡制備金屬薄膜的異形靶有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911046706.0 | 申請日： | 2019-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN110747433B | 公開（公告）日： | 2021-06-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 閆永達;毛立陽;曹永智;耿延泉;王桐 | 申請（專利權(quán)）人： | 哈爾濱工業(yè)大學 |
| 主分類號： | C23C14/16 | 分類號： | C23C14/16;C23C14/35;G02B1/10 |
| 代理公司： | 哈爾濱龍科專利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多面 反射 制備 金屬 薄膜 異形 | ||
1.一種為多面共體反射鏡制備金屬薄膜的異形靶，其特征在于：包括靶體及異形靶材(2)，所述靶體包括水咀座(1)、支撐管(5)、端蓋(6)、多個隔離圈(3)及多個永磁鐵(4)；
所述水咀座(1)后端與支撐管(5)一端可拆卸連接，所述多個永磁鐵(4)均為環(huán)狀，且多個永磁鐵(4)套裝在支撐管(5)上且與支撐管(5)間隙配合，每個所述隔離圈(3)均由兩個半圓環(huán)體組成，每兩個半圓環(huán)體設置在支撐管(5)外壁上并扣合且互相連接，所述多個隔離圈(3)和多個永磁鐵(4)依次交替設置，所述異形靶材(2)中部設有空腔，異形靶材(2)的外形為柱狀，異形靶材(2)套裝在多個隔離圈(3)及多個永磁鐵(4)外側(cè)，水咀座(1)后端與異形靶材(2)前端可拆卸連接，異形靶材(2)后端與端蓋(6)可拆卸連接；所述異形靶材(2)的外周面設有多個面型，所述多個面型與預濺射的多面共體反射鏡面數(shù)量相同且一一對應。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種為多面共體反射鏡制備金屬薄膜的異形靶，其特征在于：所述異形靶材(2)的心部為殼體，所述殼體的外周面設有襯底(7)，所述襯底(7)的外周面設有過渡層(8)，所述過渡層(8)的外周面設有所需濺射的材料層(9)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種為多面共體反射鏡制備金屬薄膜的異形靶，其特征在于：所述襯底(7)的材質(zhì)為鎳基耐蝕合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種為多面共體反射鏡制備金屬薄膜的異形靶，其特征在于：所述過渡層(8)的材質(zhì)為鋁、鐵或銅。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
