[發(fā)明專利]一種易于電極圖案化的納米銀線柔性透明導(dǎo)電膜及其圖案化方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911045579.2 | 申請日： | 2019-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN110781600B | 公開（公告）日： | 2023-03-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 呂鵬;張梓晗;姚成鵬;張運奇;聶彪 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥微晶材料科技有限公司 |
| 主分類號： | G06F30/20 | 分類號： | G06F30/20;H01B1/02;H01B5/14;G03F7/004 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101 | 代理人： | 盧敏 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 易于 電極 圖案 納米 柔性 透明 導(dǎo)電 及其 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種易于電極圖案化的納米銀線柔性透明導(dǎo)電膜及其圖案化方法，該導(dǎo)電膜是在柔性基底表面設(shè)置有納米銀線導(dǎo)電層，在納米銀線導(dǎo)電層表面通過涂布OC光阻劑形成有OC光阻劑層。本發(fā)明通過提供一種集納米銀線保護功能和抗顯影液侵蝕功能于一體的OC光阻劑，以及配套的集顯影OC光阻劑和刻蝕下方納米銀線功能于一體的顯影刻蝕液，極大地簡化了通過黃光工藝對納米銀線柔性透明導(dǎo)電膜進行電極圖案化的工藝步驟，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率，非常適合面板廠進行觸控屏、OLED、Micro?LED電極圖案的制作。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于納米銀線透明導(dǎo)電膜領(lǐng)域，特別涉及一種易于電極圖案化的納米銀線柔性透明導(dǎo)電膜及其圖案化方法。
背景技術(shù)
透明導(dǎo)電薄膜作為重要的功能材料被廣泛應(yīng)用于觸控顯示屏、傳感器、太陽能電池、發(fā)光二極管等領(lǐng)域。氧化銦錫(ITO)因具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、透光性以及高度穩(wěn)定性，長期以來被廣泛用作透明導(dǎo)電電極，但ITO也有一些難以克服的缺點，如易脆性難以應(yīng)用于柔性觸控領(lǐng)域、金屬銦資源緊缺價格較貴、用于ITO鍍膜的磁控濺射設(shè)備投資較大等。因此近年來諸如導(dǎo)電金屬氧化物、石墨烯、碳納米管、導(dǎo)電高分子材料和金屬納米線相繼被開發(fā)出來以期取代ITO，其中銀納米線因具有良好的透光性、導(dǎo)電性、柔韌性以及制備工藝簡單被認為未來最有可能取代ITO的透明導(dǎo)電材料。
目前納米銀線透明導(dǎo)電膜在觸控領(lǐng)域的應(yīng)用日趨成熟，其主要工藝步驟包括：利用激光刻蝕或黃光工藝對納米銀線導(dǎo)電層進行電極圖案化，然后將納米銀線透明導(dǎo)電膜與光學透明膠OCA貼合，再將此復(fù)合膜與液晶顯示模組或OLED顯示模組貼合制成觸控屏。其中導(dǎo)電層圖案的制作以激光刻蝕方案應(yīng)用較為成熟，但激光刻蝕目前也存在工藝設(shè)備昂貴、耗時長等問題。而黃光工藝由于可流水線操作，且無需購買激光刻蝕設(shè)備，因此特別適合面板廠進行電極圖案的制作。
傳統(tǒng)黃光工藝對納米銀線導(dǎo)電層進行電極圖案化的生產(chǎn)步驟包括：1、在納米銀線導(dǎo)電層表面涂布一層光刻膠并烘干；2、利用掩膜版對光刻膠進行局域選擇性曝光；3、利用顯影液對光刻膠曝光/非曝光區(qū)域進行顯影；4、利用刻蝕液對暴露出來的納米銀線導(dǎo)電層進行刻蝕；5、利用剝離液對納米銀線上方非曝光/曝光區(qū)域的光刻膠進行剝離；6、在刻蝕好圖案的納米銀線導(dǎo)電層表面涂布一層OC保護樹脂。該步驟非常繁瑣。
發(fā)明內(nèi)容
為簡化黃光工藝對納米銀線導(dǎo)電層進行電極圖案化的生產(chǎn)步驟，本發(fā)明公開了一種易于電極圖案化的納米銀線柔性透明導(dǎo)電膜及其圖案化方法，旨在提供一種集納米銀線保護功能和抗顯影液侵蝕功能于一體的OC光阻劑，以及配套的集顯影OC光阻劑和刻蝕下方納米銀線功能于一體的顯影刻蝕液，以簡化電極圖案化的工藝步驟，提高生產(chǎn)效率。
為了達到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：
本發(fā)明首先公開了一種易于電極圖案化的納米銀線柔性透明導(dǎo)電膜，其特點在于：所述納米銀線柔性透明導(dǎo)電膜是在柔性基底表面設(shè)置有納米銀線導(dǎo)電層，在所述納米銀線導(dǎo)電層表面通過涂布OC光阻劑形成有OC光阻劑層；
所述OC光阻劑的各組分按重量份的構(gòu)成為：
進一步地，所述光固化樹脂為沙多瑪CN8007NS聚氨酯丙烯酸酯、CN8011NS聚氨酯丙烯酸酯、CN9010NS聚氨酯丙烯酸酯和CN9110NS聚氨酯丙烯酸酯中的至少一種。
進一步地，所述顯影樹脂為帶叔胺基的甲基丙烯酸二甲氨基乙酯、甲基丙烯酸二乙氨基乙酯和2-(二異丙基氨基)甲基丙烯酸乙酯中的至少一種。
進一步地，所述光引發(fā)劑為2-羥基-2甲基-1-苯基丙酮、光引發(fā)劑754和光引發(fā)劑1173中的至少一種。
進一步地，所述流平劑為流平劑BYK-333，購買自畢克中國有限公司。
進一步地，所述銀穩(wěn)定劑為十二烷基硫醇、十六烷基硫醇和十八烷基硫醇中的至少一種。
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