[發(fā)明專利]一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911044680.6 | 申請日: | 2019-10-30 |
| 公開(公告)號: | CN112821188A | 公開(公告)日: | 2021-05-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 付傳尚;開北超;孫素娟;徐現(xiàn)剛;鄭兆河 | 申請(專利權(quán))人: | 山東華光光電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01S5/024 | 分類號: | H01S5/024;H01S5/042;H01S5/02315;H01S5/40 |
| 代理公司: | 濟南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37219 | 代理人: | 趙龍群 |
| 地址: | 250101 山東省濟*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 激光器 封裝 結(jié)構(gòu) 方法 | ||
1.一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括mini巴條、鎢銅熱沉、AlN陶瓷片、散熱熱沉和電極,mini巴條和鎢銅熱沉焊接組成巴條陣列,巴條陣列通過AlN陶瓷片焊接在散熱熱沉上,電極通過電極絕緣片封裝到散熱熱沉兩端。
2.如權(quán)利要求1所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,巴條陣列上方安裝透鏡,透鏡通過墊條進行固定,墊條固定于散熱熱沉上端,墊條的橫截面為L型,墊條數(shù)量為兩個,兩個墊條對稱設(shè)置在散熱熱沉上端兩側(cè),墊條上表面與鎢銅熱沉上表面平行,兩個墊條之間設(shè)置透鏡。
3.如權(quán)利要求2所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,透鏡選用O型柱形透鏡。
4.如權(quán)利要求1所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,AlN陶瓷片上設(shè)有AlN陶瓷片開槽,mini巴條與AlN陶瓷片開槽位置對應(yīng),AlN陶瓷片開槽的槽寬與mini巴條厚度一致,AlN陶瓷片表面和背面金屬化處理,金屬化成分為鎳金;AlN陶瓷片側(cè)面和槽非金屬化,AlN陶瓷片側(cè)面和槽內(nèi)為非金屬化區(qū)域。
5.如權(quán)利要求1所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,在散熱熱沉中間位置開設(shè)有安裝固定孔。
6.如權(quán)利要求1所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,在散熱熱沉兩端位置開設(shè)有電極固定孔。
7.如權(quán)利要求1所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,mini巴條焊接到鎢銅熱沉上時使用高溫焊料,AlN陶瓷片焊接到散熱熱沉上使用高溫焊料,mini巴條陣列與AlN陶瓷片之間采用低溫焊料焊接;
優(yōu)選的,高溫焊料為AuSn焊料,低溫焊料為SnAg焊料。
8.如權(quán)利要求1所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,mini巴條長度為3mm-10mm,長度與鎢銅熱沉長度一致。
9.如權(quán)利要求1所述的一種泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,鎢銅熱沉厚度為0.3mm-1mm。
10.一種如權(quán)利要求2所述的泵浦激光器封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,封裝步驟如下:
根據(jù)泵浦晶體的直徑確定mini巴條解理長度,將所解理的mini巴條通過高溫焊料封裝成巴條陣列,將AlN陶瓷片通過高溫焊料封裝到散熱熱沉上,再將封裝的巴條陣列通過低溫焊料焊接到AlN陶瓷片上,將電極通過電極絕緣片封裝到散熱熱沉兩端,最后在巴條列陣上方安裝透鏡,通過透鏡對各個巴條進行光學(xué)處理,獲得能量集中、光斑勻化的泵浦光。
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