[發明專利]基于Kapton 500HN的EMSIW濕度傳感器

有效

• 申請號: 201911044459.0
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN110806417B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: 趙文生;范立超;王大偉;陳世昌;王高峰
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: G01N22/04
• 分類號: G01N22/04
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 朱亞冠

1.基于Kapton 500HN的EMSIW濕度傳感器，該濕度傳感器為單端口器件，分為三層結構，其特征在于：

頂層包括金屬補丁、微帶線和SMA連接頭；

中間層采用濕度敏感介質板Kapton500HN；

底層包括金屬薄片；

金屬補丁上設有若干等距排布用于耦合金屬薄片的金屬通孔；由金屬補丁、微帶線、介質板Kapton500HN、金屬薄片、金屬通孔構成八分之一模式的襯底集成波導EMSIW；

在金屬補丁的電壁上連接有微帶線，金屬補丁在微帶線兩側開有軸對稱的L型縫隙；左側L型縫隙為順時針旋轉180°后的L結構，右側L型縫隙與左側L型縫隙關于微帶線軸對稱；

所述微帶線結構包括一個輸入端口，所述的輸入端口用于連接SMA連接頭。

2.如權利要求1所述的基于Kapton 500HN的EMSIW濕度傳感器，其特征在于濕度敏感介質板厚度是。

3.如權利要求2所述的基于Kapton 500HN的EMSIW濕度傳感器，其特性在于：在室溫23℃、濕度為0%時，濕度敏感介質板Kapton 500HN此時的介電常數為3.05，而當室溫23℃、濕度為100%時，濕度敏感介質板Kapton 500HN此時的介電常數為3.85，其介電常數和環境濕度的關系式表示為：介電常數，RH表示周圍環境的濕度。