[發明專利]一種耐高溫電渦流式微小位移傳感器的制作方法及應用

在審

• 申請號: 201911042122.6
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN110864615A
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發明（設計）人: 趙梓妤;劉振俠;趙靈強;呂亞國;朱鵬飛;張麗芬;劉振剛;吳丁毅;胡劍平
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02;H01F41/074;H01F41/064;H01F41/00
• 代理公司: 西安恒泰知識產權代理事務所 61216
• 代理人: 李婷;趙中霞

1.一種耐高溫電渦流式微小位移傳感器的制作方法，其特征在于，該方法先以鉑絲繞制平面空心感應線圈，再對平面空心感應線圈進行成型，最后通過陶瓷凝膠進行封裝。

2.如權利要求1所述的耐高溫電渦流式微小位移傳感器的制作方法，其特征在于，該方法具體包括以下步驟：

步驟一：平面空心感應線圈的制作：用耐高溫絕緣漆噴涂鉑絲至完全包裹，待鉑絲表面耐高溫絕緣漆風干；將中心設有圓孔的第一亞克力平板水平固定，將所述鉑絲一端作為內引線由上向下穿過第一亞克力平板的圓孔并固定，鉑絲另一端作為外引線留在第一亞克力平板上方；取第二亞克力平板平行固定在第一亞克力平板上方，使第一亞克力平板與第二亞克力平板之間的距離為所述鉑絲直徑的1～2倍；采用軸垂直穿過第一亞克力平板與第二亞克力平板并固定；將第一亞克力平板與第二亞克力平板之間的鉑絲沿軸緊密纏繞，形成平面空心感應線圈；

步驟二：平面空心感應線圈的成型：在步驟一中的第一亞克力平板與第二亞克力平板間的平面空心感應線圈上滴膠水，待膠水風干后抽出軸并取下第二亞克力平板，然后取下第一亞克力平板上成型的平面空心感應線圈；

步驟三：平面空心感應線圈的封裝：將成型的平面空心感應線圈放置在平板上，同時將內徑10～12mm、長度5～7cm的管垂直固定在平板上并罩在成型的平面空心感應線圈外，平面空心感應線圈的內引線和外引線從管的上端管口穿出；從管的上端管口倒入5cm高度的陶瓷凝膠后振動排除陶瓷凝膠內氣泡，室溫干燥8～10小時后倒置，取下平板；從管的下端倒入1mm高度的陶瓷凝膠后振動排除陶瓷凝膠內氣泡，室溫干燥8～10小時后，放置于120℃高溫爐內干燥2～4小時，拆掉所述管，得到封裝平面空心感應線圈。

3.如權利要求2所述的耐高溫電渦流式微小位移傳感器的制作方法，其特征在于，所述鉑絲的直徑為0.1mm～0.3mm；所述第一亞克力平板與第二亞克力平板上的圓孔直徑均為1.2～1.4mm，所述軸的直徑為1mm。

4.如權利要求2所述的耐高溫電渦流式微小位移傳感器的制作方法，其特征在于，所述陶瓷凝膠采用水與陶瓷粉以1:5～1:8的重量比混合并攪拌均勻后形成。

5.一種采用權利要求1至4任一權利要求所述的耐高溫電渦流式微小位移傳感器的制作方法制備得到的耐高溫電渦流式微小位移傳感器用于高溫設備中的部件微小位移測量的應用或用于1000℃以上環境溫度中的非接觸微小位移測量的應用或用于燃氣渦輪環境中的葉片間隙測量的應用。