[發(fā)明專利]一種減小高頻高壓發(fā)生器輸出的直流高壓誤差的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911034361.7 | 申請日： | 2019-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN110831309A | 公開（公告）日： | 2020-02-21 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王中贇;謝森榮 | 申請（專利權）人： | 南寧市躍龍科技有限公司 |
| 主分類號： | H05G1/12 | 分類號： | H05G1/12;H05G1/32 |
| 代理公司： | 深圳市科吉華烽知識產權事務所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 530007 廣西壯族自治區(qū)南*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 減小 高頻 高壓發(fā)生器 輸出 直流 高壓 誤差 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種減小高頻高壓發(fā)生器輸出的直流高壓誤差的方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、開始；
S2、高頻高壓發(fā)生器進行曝光操作；
S3、測量所述高頻高壓發(fā)生器的輸出電壓，并計算出所述高頻高壓發(fā)生器的輸出電壓與理論值的偏差比例；
S4、判斷偏差比例是否在設定范圍之內，如果在設定范圍之內，則進入下一步驟，如果不在設定范圍之內，則調整KV校準比例并返回步驟S2；
S5、結束。
2.根據權利要求1所述的減小高頻高壓發(fā)生器輸出的直流高壓誤差的方法，其特征在于：在步驟S4中，如果不在設定范圍之內，則通過上位機調整KV校準比例，通過串口發(fā)送相應指令給所述高頻高壓發(fā)生器，所述高頻高壓發(fā)生器的主控單元根據指令相應調節(jié)輸出的直流高壓并返回步驟S2。
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