[發明專利]基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器在審
| 申請號： | 201911032844.3 | 申請日： | 2019-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN110749370A | 公開（公告）日： | 2020-02-04 |
| 發明（設計）人： | 董波 | 申請（專利權）人： | 中國科學院西安光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01H9/00 | 分類號： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦專利商標代理有限公司 | 代理人： | 汪海艷 |
| 地址： | 710119 陜西省西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚合物光纖 振動傳感器 微腔 單模石英光纖 金屬膜 光纖振動傳感器 系統信號處理 聚合物膠體 振動靈敏度 石英光纖 通信波段 楊氏模量 一端連接 優勢特點 振動檢測 靈敏度 內壁 涂覆 薄膜 | ||
1.一種基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器，其特征在于：包括單模石英光纖(1)與聚合物光纖(2)；
所述聚合物光纖(2)的一端通過抗水聚合物膠體(6)與單模石英光纖(1)的一端連接；所述聚合物光纖(2)的另一端涂覆有聚合物光纖膜(10)；
所述聚合物光纖(2)上具有微腔(3)；定義位于聚合物光纖軸向方向的微腔內壁分別為第一內壁與第二內壁；所述第一內壁靠近單模石英光纖，第二內壁遠離單模石英光纖；所述第一內壁上鍍有低反金屬膜(5)，所述第二內壁上鍍有高反金屬膜(4)。
2.根據權利要求1所述的基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器，其特征在于：所述單模石英光纖(1)與聚合物光纖(2)的直徑相等。
3.根據權利要求2所述的基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器，其特征在于：所述聚合物光纖(2)通過抗水聚合物膠體(6)與單模石英光纖(1)同軸對接。
4.根據權利要求3所述的基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器，其特征在于：所述抗水聚合物膠體(6)為UV膠、環氧樹脂或聚酯，膠層厚度為50-100um。
5.根據權利要求4所述的基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器，其特征在于：所述低反金屬膜(5)的反射率為30％，厚度是100-500nm。
6.根據權利要求5所述的基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器，其特征在于：所述高反金屬膜(4)的反射率為90％，厚度是100-500nm。
7.根據權利要求6所述的基于聚合物光纖微腔和聚合物光纖薄膜的振動傳感器，其特征在于：所述聚合物光纖膜(10)為UV膠、環氧樹脂或聚酯，聚合物光纖膜的厚度是50-100um。
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