[發(fā)明專利]電遷移檢查方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911032462.0
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN111199894A
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盂曾賢;楊尊宇
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G06F30/392
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種電遷移檢查方法，其特征在于，包括以下步驟：

對一原理圖設(shè)計(jì)進(jìn)行一電遷移檢查制程，其中該電遷移檢查制程包括，

在該原理圖設(shè)計(jì)中選擇至少一些電路系統(tǒng)作為電遷移檢查的選定電路系統(tǒng)，

檢查所述選定電路系統(tǒng)中的電遷移合規(guī)性；進(jìn)行一緩解制程以緩解在進(jìn)行該電遷移檢查制程期間識別到的一或多個電遷移違規(guī)，其中該緩解制程包括以下一者：更改該選定電路系統(tǒng)的一些電路布局，更改該原理圖設(shè)計(jì)，或更改該原理圖設(shè)計(jì)及所述選定電路系統(tǒng)的一些電路布局兩者；以及

在一設(shè)計(jì)制程的至少一次迭代后生成該原理圖設(shè)計(jì)的一布局設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)制程包括該電遷移檢查制程及該緩解制程。