[發(fā)明專利]一種感光器件及其驅(qū)動(dòng)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911029732.2
• 申請(qǐng)日: 2019-10-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110797361B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 康曉旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/146;H04N5/374
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;尹一凡

1.一種感光器件，其特征在于，所述感光器件包括：

SOI襯底，所述SOI襯底包括：

基底層；和

半導(dǎo)體層，設(shè)置于所述基底層一側(cè)表面，所述半導(dǎo)體層至少包括器件區(qū)；

第一柵極層，設(shè)置于所述半導(dǎo)體層上與所述基底層相對(duì)的一側(cè)表面；

第二柵極層，設(shè)置于所述基底層上與所述半導(dǎo)體層相對(duì)的一側(cè)表面；

第一過(guò)孔，沿第一方向設(shè)置于所述器件區(qū)的兩側(cè)，所述第一過(guò)孔貫穿所述基底層和所述半導(dǎo)體層；

第一導(dǎo)電層，所述第一導(dǎo)電層填充于所述第一過(guò)孔內(nèi)，與所述第二柵極層電連接；

第二過(guò)孔，沿第二方向設(shè)置于所述器件區(qū)的兩側(cè)，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述第二過(guò)孔貫穿所述半導(dǎo)體層；

第二導(dǎo)電層，所述第二導(dǎo)電層填充于所述第二過(guò)孔內(nèi)；

第一柵介質(zhì)層，設(shè)置于所述第一柵極層與所述器件區(qū)之間；

第二柵介質(zhì)層，設(shè)置于所述第一導(dǎo)電層與所述器件區(qū)之間。

2.如權(quán)利要求1所述的感光器件，其特征在于，所述第二柵介質(zhì)層由所述半導(dǎo)體層延伸至所述第一柵介質(zhì)層，其中，所述第二柵介質(zhì)層的延伸方向上，靠近所述第一柵介質(zhì)層的一端的厚度大于靠近所述第二柵極層一端的厚度。

3.如權(quán)利要求2所述的感光器件，其特征在于，所述第二柵介質(zhì)層包括：

主體部，由所述半導(dǎo)體層延伸至所述第一柵介質(zhì)層；

突出部，設(shè)置于靠近所述第一柵介質(zhì)層的一端。

4.如權(quán)利要求3所述的感光器件，其特征在于，所述突出部向所述器件區(qū)方向突出，并且嵌入于所述器件區(qū)、與所述第一柵介質(zhì)層接觸。

5.如權(quán)利要求3所述的感光器件，其特征在于，所述突出部向所述第一導(dǎo)電層方向突出，并且嵌入于所述第一導(dǎo)電層。

6.如權(quán)利要求1所述的感光器件，其特征在于，所述第一柵極層為透明的石墨烯薄膜。

7.如權(quán)利要求1所述的感光器件，其特征在于，所述第一柵極層為透明的ITO薄膜。

8.如權(quán)利要求1所述的感光器件，其特征在于，所述半導(dǎo)體層還包括絕緣區(qū)，所述第一過(guò)孔和所述第二過(guò)孔設(shè)置于所述絕緣區(qū)。

9.一種如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的感光器件的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，包括：

對(duì)所述第一柵極層和所述第二柵極層施加不同的電壓。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，施加至所述第一柵極層的電壓為正電壓，施加至所述第二柵極層的電壓為負(fù)電壓。