[發明專利]使用面鏡及/或棱鏡的激光重復率倍增器及平頂射束輪廓產生器

有效

• 申請號: 201911029361.8
• 申請日: 2015-06-18
• 公開（公告）號: CN110797743B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 勇-霍·亞歷克斯·莊;賈斯汀·典桓·劉;陸曉旭;J·約瑟夫·阿姆斯特朗;鄧宇俊;約翰·費爾登
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: H01S3/139
• 分類號: H01S3/139;H01S3/125;H01S3/105
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種激光脈沖重復率倍增器，其用于接收輸入激光脈沖且用于產生輸出脈沖，所述輸出脈沖具有多于兩倍的所述輸入激光脈沖的重復率的輸出脈沖重復率，所述激光脈沖重復率倍增器包括：

赫里奧特池，其包含形成光學腔的第一曲面鏡和第二曲面鏡、第一射束分裂器和第二射束分裂器及至少兩個折疊面鏡，以及定位在所述光學腔外部的直角棱鏡，所述赫里奧特池經配置以使得每一所述輸入激光脈沖的部分沿所述光學腔內部的主腔回路傳輸，隨后傳遞到所述直角棱鏡，隨后在作為所產生的所述輸出脈沖中的一者離開所述光學腔之前沿所述光學腔內部的次腔回路傳輸，

其中所述兩個曲面鏡具有約等于所述輸入激光脈沖之間的空間分離的四分之一的奇整數倍的曲率半徑，且

其中所述兩個曲面鏡具有共同曲率半徑，且分開實質上等于所述曲率半徑的距離。

2.根據權利要求1所述的激光脈沖重復率倍增器，其中所述赫里奧特池經配置以使得所述輸出脈沖重復率是原始輸入脈沖的重復率的四倍。

3.根據權利要求1所述的激光脈沖重復率倍增器，

其中所述赫里奧特池經配置以使得每一所述輸入激光脈沖的至少一部分由所述第一射束分裂器引導以使得當其在所述主腔回路上時由所述第一曲面鏡和第二曲面鏡的第一部分反射，且由所述第二射束分裂器引導以使得當其在所述次腔回路上時由所述第一曲面鏡和第二曲面鏡的第二部分反射，

其中所述赫里奧特池還包括安置于所述主腔回路中的棱鏡，且

其中所述棱鏡、所述至少兩個折疊面鏡以及所述直角棱鏡中的一者經配置以將來自所述主腔回路的激光脈沖轉向到所述次腔回路中。

4.根據權利要求3所述的激光脈沖重復率倍增器，其中所述赫里奧特池經配置以使得所述主腔回路位于不同于所述次腔回路的平面中。

5.根據權利要求4所述的激光脈沖重復率倍增器，其中所述第一射束分裂器接收所述輸入激光脈沖且將每一所述輸入激光脈沖的能量的約三分之二反射到所述主腔回路中。

6.根據權利要求1所述的激光脈沖重復率倍增器，其中第二射束分裂器具有約三分之一的反射率。

7.根據權利要求1所述的激光脈沖重復率倍增器，其中所述赫里奧特池經配置以使得：

每一所述輸入激光脈沖被引導到所述第一射束分裂器上；

所述第一射束分裂器經配置以引導所述每一輸入激光脈沖的至少第一部分以使得當所述第一部分在所述主腔回路上時由第一平面中的所述第一曲面鏡和第二曲面鏡反射，且隨后經引導朝向所述直角棱鏡；

所述直角棱鏡經配置以將所述第一部分重新引導到所述第二射束分裂器；且

所述第二射束分裂器經配置以引導每一所述第一部分的至少第二部分使得當所述第二部分在所述次腔回路上時由第二平面中的所述第一曲面鏡和第二曲面鏡反射，所述第二平面與所述第一平面不同。

8.根據權利要求1所述的激光脈沖重復率倍增器，

其中所述赫里奧特池還包括與所述第一射束分裂器一起安置于第一平面中的射束補償器和棱鏡中的一者，且

其中所述第二射束分裂器和所述至少兩個折疊面鏡安置于第二平面內。