[發明專利]曲面光學薄膜元件反射率測量方法

有效

• 申請號: 201911028735.4
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN110646169B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發明（設計）人: 王銀河;宋光輝;姚春龍;劉海濤;李明華;李野
• 申請（專利權）人: 沈陽儀表科學研究院有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01N21/55
• 代理公司: 沈陽亞泰專利商標代理有限公司 21107
• 代理人: 郭元藝

本發明屬光學薄膜元件參數測量領域，尤其涉及一種曲面光學薄膜元件反射率測量方法，按如下步驟實施：a、開啟恒流光源，測試參數設置；b、進行標準標定；c、恒流光源發出的光經過聚焦后進入光纖接收端；經過光纖透鏡后形成出射平行光，平行光進入光學積分器，并按照某一角度入射到待測試曲面光學薄膜元件表面，光線經過鏡面反射后進入光學積分器，通過光學積分器勻光后經光學積分器出射口進入接收光纖，再進入CCD探測器并由計算機進行處理最終獲得光譜反射數據。本發明可解決角度不同光線難以全部收集問題，反射率測試準確，可保證測試不同曲率半徑。

技術領域

本發明屬光學薄膜元件參數測量領域，尤其涉及一種曲面光學薄膜元件反射率測量方法。

背景技術

光學薄膜元件反射率的測量方法通常使用分光光度計進行測量，但分光光度計測試一般僅限于平面光學元件的反射率測量。由于設備光學系統結構的特點，當測試不同曲面光學薄膜元件反射率時，經曲面鏡反射后光斑及方向變化較大，反射光很難準確收集，因此無法進行準確測量。測量曲面光學薄膜元件反射率是行業難題，常規的測試方法難以實現，目前行業內也沒有通用型的設備可以測試，反射率測試技術具有較大的難度。

發明內容

本發明旨在克服現有技術的不足之處而提供一種可解決角度不同光線難以全部收集問題，反射率測試準確，可保證測試不同曲率半徑的曲面光學薄膜元件反射率測量方法。

為解決上述技術問題，本發明是這樣實現的：

一種曲面光學薄膜元件反射率測量方法，可按如下步驟實施：

a、開啟恒流光源，測試參數設置；

b、進行標準標定；當將光學積分器的入射口封閉，光線無法進入光學積分器時，CCD探測器無光線進入，即認為零線參考設定完畢；將光學積分器出射口打開，直接測試標準樣品反射鏡，通過數據處理，作為百線數據；

c、恒流光源發出的光經過聚焦后進入光纖接收端；經過光纖透鏡后形成出射平行光，平行光進入光學積分器，并按照某一角度入射到待測試曲面光學薄膜元件表面，光線經過鏡面反射后進入光學積分器，通過光學積分器勻光后經光學積分器出射口進入接收光纖，再進入CCD探測器并由計算機進行處理最終獲得光譜反射數據。

作為一種優選方案，本發明所述步驟a中，測試參數設置包括設定積分時間、參考數據線及測試坐標范圍。

進一步地，本發明所述光學積分器可采用超短距反射積分器；光學積分器積分口與待測試面對距離2～3mm。

進一步地，本發明所述光學積分器球面直徑為30mm。

本發明可解決角度不同光線難以全部收集問題，反射率測試準確，可保證測試不同曲率半徑。

與現有技術相比，本發明具有如下特點：

1、多角度反射積分式集光方法：由于不同曲率弧面反射后光線入射方向不同，很難用常規匯聚光路進行收集傳輸，設計了積分球式收集裝置，通過一個積分球將不同角度入射的光收集到積分球中，解決了角度不同光線難以全部收集的問題。

2、超短距反射積分器：光學積分器設計支撐點，積分口與待測試面對距離2～3mm，當光線入射到曲面表面反射時會直接進入光學積分器，超短距反射設計保證了當測試不同弧度及大小的表面時，反射光能夠完全進入光學積分器，保證無光線損失，保證反射率測試準確性。

3、小口徑微型積分器：積分器微型設計保證能夠測試不同曲率半徑的自由曲面反射率，積分器球面直徑只有30mm，可以測試最小曲率半徑50mm規格的任一曲面反射率。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步說明。本發明的保護范圍不僅局限于下列內容的表述。

圖1為本發明測量裝置整體結構示意圖。