[發明專利]探針防誤觸方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 201911024547.4
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN110736715B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 薛占強;郭翠;潘奕
• 申請（專利權）人: 深圳市太赫茲科技創新研究院有限公司;深圳市重投華訊太赫茲科技有限公司
• 主分類號: G01N21/3581
• 分類號: G01N21/3581;G01N21/01;G01B11/14
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 劉永康

1.一種探針防誤觸方法，其特征在于，包括：

將測距儀的測距光斑和樣品架調節至探針的針尖正下方第一測試距離處；其中，在近場掃描成像裝置上設置一測距儀，所述測距儀與探針固定安裝在一起，通過一定的角度設計，實時測量探針的針尖至樣品之間的距離；

控制所述樣品架水平移動并通過所述測距儀隨機對N個不在同一直線的檢測點進行測距，得到每一所述檢測點與所述探針針尖的間距；N≥3；

若每一所述檢測點對應的間距與所述第一測試距離的第一誤差值均小于預設閾值，則將所述測距光斑和所述樣品架調節至所述探針的針尖正下方第二測試距離處；其中，所述第二測試距離小于第一測試距離；

根據預設掃描成像范圍控制放置有樣品的所述樣品架移動，通過所述測距儀對若干預設的掃描點進行測距，得到每一所述掃描點與所述探針針尖的間距；

若根據所述若干掃描點對應的間距確定所述樣品平整，則將所述測距光斑和所述樣品架調節至所述探針的針尖正下方掃描距離處，以進行成像掃描；其中，所述掃描距離小于第二測試距離。

2.如權利要求1所述的探針防誤觸方法，其特征在于，在控制所述樣品架水平移動并通過所述測距儀隨機對N個不在同一直線的檢測點進行測距，得到每一所述檢測點與所述探針針尖的間距之后，還包括：

若任一所述檢測點對應的間距與所述第一測試距離的第一誤差值大于所述預設閾值，則根據所述N個檢測點對應的間距和位置信息調整所述樣品架，并重新控制所述樣品架水平移動并通過所述測距儀隨機對N個檢測點進行測距。

3.如權利要求1所述的探針防誤觸方法，其特征在于，所述若根據所述若干掃描點對應的間距確定所述樣品平整，將所述測距光斑和所述樣品架調節至所述探針的針尖正下方掃描距離處，以進行成像掃描，包括：

若每一所述掃描點對應的間距與所述第二測試距離的第二誤差值均小于所述預設閾值，則將所述測距光斑和所述樣品架調節至所述探針的針尖正下方掃描距離處，以進行成像掃描。

4.如權利要求3所述的探針防誤觸方法，其特征在于，在根據預設掃描成像范圍控制放置有樣品的所述樣品架移動，通過所述測距儀對若干預設的掃描點進行測距，得到每一所述掃描點與所述探針針尖的間距之后，還包括：

若任一所述掃描點對應的間距與所述第二測試距離的第二誤差值大于所述預設閾值，則調整所述樣品的擺放位置，并重新根據預設掃描成像范圍控制放置有樣品的所述樣品架移動，通過所述測距儀對若干預設的掃描點進行測距。

5.如權利要求1-4任一項所述的探針防誤觸方法，其特征在于，所述方法還包括：

在掃描成像過程中，通過所述測距儀對每一所述掃描點進行測距，得到每一所述掃描點與所述探針針尖的間距；

若任一所述掃描點對應的間距與所述掃描距離的第三誤差值大于所述預設閾值，則停止成像掃描。

6.如權利要求1所述的探針防誤觸方法，其特征在于，所述預設閾值為50微米。

7.一種探針防誤觸裝置，其特征在于，包括：

第一調節模塊，用于將測距儀的測距光斑和樣品架調節至探針的針尖正下方第一測試距離處；其中，在近場掃描成像裝置上設置一測距儀，所述測距儀與探針固定安裝在一起，通過一定的角度設計，實時測量探針的針尖至樣品之間的距離；

第一測距模塊，用于控制所述樣品架水平移動并通過所述測距儀隨機對N個不在同一直線的檢測點進行測距，得到每一所述檢測點與所述探針針尖的間距；N≥3；

第二調節模塊，用于若每一所述檢測點對應的間距與所述第一測試距離的第一誤差值均小于預設閾值，則將所述測距光斑和所述樣品架調節至所述探針的針尖正下方第二測試距離處；其中，所述第二測試距離小于所述第一測試距離；

第二測距模塊，用于根據預設掃描成像范圍控制放置有樣品的所述樣品架移動，通過所述測距儀對若干預設的掃描點進行測距，得到每一所述掃描點與所述探針針尖的間距；

第三調節模塊，用于若根據所述若干掃描點對應的間距確定所述樣品平整，則將所述測距光斑和所述樣品架調節至所述探針的針尖正下方掃描距離處，以進行成像掃描其在，所述掃描距離小于所述第二測試距離。