[發明專利]烤箱及氣懸浮裝置

在審

• 申請號: 201911023518.6
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN112344679A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 許劍;孫賢文
• 申請（專利權）人: 廣東聚華印刷顯示技術有限公司
• 主分類號: F26B11/00
• 分類號: F26B11/00;F26B21/00;G02F1/13
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 別亮亮

本發明公開了一種烤箱及氣懸浮裝置，該氣懸浮裝置包括供氣源及與所述供氣源的出氣端連通的第一供氣管，所述第一供氣管設有至少一個第一出氣孔，所述第一出氣孔用于氣懸浮支撐基板。該氣懸浮裝置能夠利用氣懸浮來支撐基板，使得該基板在烤箱中加熱干燥時，不會出現局部受熱過高，能夠避免造成基板損壞。

技術領域

本發明涉及平板顯示技術領域，特別是涉及一種烤箱及氣懸浮裝置。

背景技術

目前在TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)及印刷OLED(Organic Light-Emitting Diode)等相關器件制作過程中，玻璃基板常需要進行清洗，然后在烤箱進行干燥。

然而當前烤箱主要是傳統式烤箱，玻璃基板送入烤箱內部后，通過頂針進行支撐，使得玻璃基板放置于加熱件的上方，利用加熱件對玻璃基板進行加熱干燥，此過程玻璃基板與頂針接觸處會出現局部受熱過高，容易造成玻璃基板損壞。

發明內容

基于此，有必要提供一種烤箱及氣懸浮裝置。該氣懸浮裝置能夠利用氣懸浮來支撐基板，使得該基板在烤箱中加熱干燥時，不會出現局部受熱過高，能夠避免造成基板損壞。

其技術方案如下：

一方面，本申請提供一種氣懸浮裝置，包括供氣源及與所述供氣源的出氣端連通的第一供氣管，所述第一供氣管設有至少一個第一出氣孔，所述第一出氣孔用于氣懸浮支撐基板。

上述氣懸浮裝置使用時，利用供氣源供氣，使得氣流經第一供氣管，通過第一出氣孔排出、并用于氣懸浮支撐基板，使得基板能夠采用非接觸式的方式設置于加熱件上方，而無需采用頂針等接觸式支撐，進而能夠避免基板在烤箱中加熱干燥時，出現局部受熱過高，避免造成基板損壞，有利于提高良品率。

下面進一步對技術方案進行說明：

在其中一個實施例中，該氣懸浮裝置還包括至少三個限位件，所述限位件間隔設置、并形成用于限制所述基板水平移動。

在其中一個實施例中，所述供氣源的出氣端與所述第一供氣管的進氣端之間設有第一開關閥。

在其中一個實施例中，所述第一供氣管包括供氣管體、以及凸出所述供氣管體設置的出氣管體，所述出氣管體的一端設有第一出氣孔，所述出氣管體設有流量控制閥。

在其中一個實施例中，所述供氣源還設有進氣端，所述進氣端用于插入所述烤箱內。

在其中一個實施例中，一個所述第一出氣孔對應于所述基板的重心位置；或所述第一出氣孔至少為兩個，且沿所述基板的外周均勻間隔設置。

在其中一個實施例中，所述第一供氣管至少為兩個，且所有所述第一供氣管的第一出氣孔相配合用于氣懸浮支撐所述基板。

在其中一個實施例中，所述第一供氣管與所述供氣源的出氣端可轉動連接，使得第一出氣孔的出氣方向可調。

在其中一個實施例中，該氣懸浮裝置還包括與所述供氣源的出氣端連通的第二供氣管，所述供氣源的出氣端與所述第二供氣管的進氣端之間設有第二開關閥，所述第二供氣管設有與所述第一出氣孔的出氣方向相反的第二出氣孔。

另一方面，本申請還提供了一種烤箱，包括前述任一實施例中所述的氣懸浮裝置，還包括箱體及設置于所述箱體的底部的加熱件，所述第一供氣管插入所述箱體中，并使所述第一出氣孔設置于所述加熱件的上方。

利用上述烤箱進行基板加熱干燥時，可以將基板移動至烤箱內，然后通過供氣源供氣，使得氣流經第一供氣管，通過第一出氣孔排出、并用于氣懸浮支撐基板，使得基板能夠采用非接觸式的方式設置于烤箱的加熱件上方，而無需采用頂針等接觸式支撐，進而能夠避免基板在烤箱中加熱干燥時，出現局部受熱過高，避免造成基板損壞，有利于提高良品率。