[發明專利]倒角磨輪及其制備方法、晶圓加工設備在審
| 申請號： | 201911017145.1 | 申請日： | 2019-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN110757287A | 公開（公告）日： | 2020-02-07 |
| 發明（設計）人： | 李亮亮 | 申請（專利權）人： | 西安奕斯偉硅片技術有限公司 |
| 主分類號： | B24B9/06 | 分類號： | B24B9/06;B24D7/18;B24D18/00;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/27 |
| 代理公司： | 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司 | 代理人： | 許靜;劉偉 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 倒角磨輪 過渡金屬層 制備 半導體技術領域 化學氣相沉積 晶圓加工設備 金剛石涂層 周向設置 外周 | ||
【權利要求書】：
1.一種倒角磨輪的制備方法，其特征在于，包括：
提供倒角磨輪基體，所述倒角磨輪基體的外周面上設置有至少兩個沿所述倒角磨輪基體的周向設置的凹槽；
在所述凹槽內形成一層過渡金屬層；
在所述過渡金屬層上利用化學氣相沉積法形成金剛石涂層。
2.根據權利要求1所述的倒角磨輪的制備方法，其特征在于，形成金剛石涂層之后，所述方法還包括：
對金剛石涂層進行形狀修正，形成研磨槽。
3.根據權利要求1所述的倒角磨輪的制備方法，其特征在于，所述過渡金屬層采用強碳化物金屬元素。
4.根據權利要求3所述的倒角磨輪的制備方法，其特征在于，所述過渡金屬層采用Mo和W中的至少一種。
5.根據權利要求4所述的倒角磨輪的制備方法，其特征在于，在所述凹槽內形成一層過渡金屬層包括：
利用磁控濺射工藝在所述凹槽內形成一層金屬Mo或W層。
6.根據權利要求5所述的倒角磨輪的制備方法，其特征在于，形成所述金剛石涂層包括：
利用熱絲等離子體化學氣相沉積(HFCVD)工藝在金屬Mo或W層上沉積一層金剛石涂層。
7.一種倒角磨輪，其特征在于，采用如權利要求1-6中任一項所述的制備方法制作得到。
8.一種晶圓加工設備，其特征在于，包括如權利要求7所述的倒角磨輪。
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