[發明專利]用于MEMS轉換器的至少一個膜單元的制造方法

有效

• 申請號: 201911014663.8
• 申請日: 2019-10-24
• 公開（公告）號: CN111163413B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 安德里亞·韋斯高尼·克萊里西·貝爾特拉米;費魯喬·博托尼;尼克·雷諾-貝慈特
• 申請（專利權）人: 悠聲股份有限公司
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00;H04R19/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉;郭婧婧

1.一種用于MEMS轉換器的至少一個膜單元（1）的制造方法，

其中在載體（2）上形成數個各具有至少一個電極層（4、5）和至少一個壓電層（6）的壓電式轉換器單元（3），

其特征在于，

從所述轉換器單元（3）移除所述載體（2），并且將所述轉換器單元（3）中的至少一者布置在膜（10）上并與所述膜（10）連接，以形成所述至少一個膜單元（1），

將所述至少一個轉換器單元（3）布置在部分固化的膜（10）上，

隨后通過加熱將所述膜（10）完全固化，使得所述轉換器單元（3）以材料接合的方式與所述膜（10）連接。

2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，在移除所述載體（2）之前或之后將所述轉換器單元（3）彼此分離地形成在所述載體（2）上。

3.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述轉換器單元（3）以某種方式彼此分離地形成且/或被彼此分離，從而形成至少一個單體化的轉換器單元（3）。

4.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述轉換器單元（3）以某種方式彼此分離地形成且/或被彼此分離，從而形成至少一個單體化的轉換器單元（3）形成至少一個由至少兩個轉換器單元（3）構成的聯合組（9）。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的制造方法，其特征在于，在所述載體（2）上形成承載層（7），將所述轉換器單元（3）的所述至少一個電極層（4、5）和所述至少一個壓電層（6）形成在所述承載層（7）上。

6.根據權利要求5所述的制造方法，其特征在于，將所述至少一個電極層（4、5）、所述至少一個壓電層（6）和所述承載層（7）上下疊置地形成在所述載體（2）上。

7.根據權利要求1-4中任一項所述的制造方法，其特征在于，在所述載體（2）上形成第一電極層（4）和第二電極層（5），

且將所述壓電層（6）形成在所述第一電極層（4）和所述第二電極層（5）之間。

8.根據權利要求7所述的制造方法，其特征在于，先形成所述第一電極層（4），再形成所述壓電層（6），而后形成所述第二電極層（5）。

9.根據權利要求8所述的制造方法，其特征在于，在形成所述第一電極層（4）之前，先形成承載層（7）。

10.根據權利要求1-4中任一項所述的制造方法，其特征在于，在所述載體（2）上整面地形成承載層（7）、所述至少一個電極層（4、5）和/或所述壓電層（6），且/或，在所述轉換器單元（3）之間將所述承載層（7）、所述至少一個電極層（4、5）和/或所述壓電層（6）至少部分地移除，從而將所述轉換器單元（3）至少部分地彼此分離。

11.根據權利要求5所述的制造方法，其特征在于，分離所述轉換器單元（3）時，至少在幾個轉換器單元（3）之間僅移除所述壓電層（6）和至少一個電極層（4、5），使得在所述轉換器單元（3）之間至少所述承載層（7）保持完好，以便所述轉換器單元（3）形成聯合組（9）。

12.根據權利要求1-4中任一項所述的制造方法，其特征在于，在所述載體（2）上選擇性地形成所述至少一個電極層（4、5）、所述至少一個壓電層（6）和/或承載層（7），以便形成至少部分地彼此分離的轉換器單元（3）。

13.根據權利要求12所述的制造方法，其特征在于，通過蝕刻和/或切割來移除所述至少一個電極層（4、5）、所述壓電層（6）和/或所述承載層（7）。

14.根據權利要求5所述的制造方法，其特征在于，通過磨除且/或溶解所述載體（2）斷開所述載體（2）與所述承載層（7）之間的連接，以便從所述轉換器單元（3）移除所述載體（2）。