[發(fā)明專利]一種大面積表面損傷柔性探測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911005501.8 | 申請日： | 2019-10-22 |
| 公開（公告）號： | CN110779965B | 公開（公告）日： | 2022-08-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張千;張校卿;向勇;劉帥 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01N27/24 | 分類號： | G01N27/24 |
| 代理公司： | 電子科技大學專利中心 51203 | 代理人： | 閆樹平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 大面積 表面 損傷 柔性 探測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種大面積表面損傷柔性探測裝置，其特征在于：該裝置包括絕緣柔性襯底、柔性薄膜晶體管傳感陣列、氟化物有機介電薄膜、柔性電路板以及引腳；
其中，所述絕緣柔性襯底上依次沉積有柔性薄膜晶體管傳感陣列和氟化物有機介電薄膜，所述氟化物有機介電薄膜完全重疊于柔性薄膜晶體管傳感陣列之上；
所述柔性電路板通過各向異性導電膠與柔性薄膜晶體管傳感陣列相連，其輸出端通過引腳和電腦輸入端相連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的大面積表面損傷柔性探測裝置，其特征在于：所述氟化物有機介電薄膜的沉積厚度為5μm～100μm；所述柔性薄膜晶體管傳感陣列規(guī)格為5mm×5mm～200mm×200mm。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種大面積表面損傷柔性探測裝置：其特征在于：所述氟化物有機介電薄膜為PVDF有機介電膜。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種大面積表面損傷柔性探測裝置：其特征在于：所述絕緣柔性襯底為聚酰亞胺薄膜。
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