[發明專利]一種柔性壓力傳感器及其制備方法

在審

• 申請號: 201910999980.3
• 申請日: 2019-10-21
• 公開（公告）號: CN110836738A
• 公開（公告）日: 2020-02-25
• 發明（設計）人: 呂亞男
• 申請（專利權）人: 蘇州工業職業技術學院
• 主分類號: G01L1/14
• 分類號: G01L1/14;G01L9/12
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 胡益萍

1.一種柔性壓力傳感器，其特征在于，包括相對放置的兩個柔性壓力傳感元件，所述柔性壓力傳感元件包括依次設置的柔性襯底層、電極層和介電層，所述柔性襯底層的材料為布料，所述布料表面為凹凸不平的結構。

2.根據權利要求1所述的一種柔性壓力傳感器，其特征在于，所述凹凸不平的結構包括間隔設置的凹陷部和凸起部。

3.根據權利要求2所述的一種柔性壓力傳感器，其特征在于，所述凹陷部的中心點與凸起部的中心點之間的距離不超過1mm。

4.根據權利要求1或3所述的一種柔性壓力傳感器，其特征在于，所述布料采用平紋紡織布料、斜紋紡織布料、緞紋紡織布料中的任意一種。

5.根據權利要求1所述的一種柔性壓力傳感器，其特征在于，所述電極層的材料為石墨烯或納米金屬。

6.根據權利要求1所述的一種柔性壓力傳感器，其特征在于，所述介電層的材料為聚二甲基硅氧烷、環氧樹脂、丙烯酸樹脂或乙烯基樹脂。

7.一種柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）對布料進行預處理，得到柔性襯底層；

（2）將柔性襯底層平鋪，在柔性襯底層上沉積石墨烯或蒸鍍一層納米金屬，形成具有凹凸表面的電極層；

（3）在電極層上旋涂處理形成介電層，接著在70-90℃下進行加熱固化，固化時間0.8-1.2h，冷卻至室溫，制成柔性壓力傳感元件；

（4）將兩個柔性壓力傳感元件相對放置，制成柔性壓力傳感器。

8.根據權利要求7所述的一種柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，預處理包括采用中性洗滌劑清洗后，自然干燥。

9.根據權利要求7所述的一種柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，所述步驟（3）中，將濃度為30%-50%的聚二甲基硅氧烷、環氧樹脂、丙烯酸樹脂或乙烯基樹脂中的任意一種，以600-1000rpm的旋轉速度通過真空勻膠儀旋涂在電極層上，旋涂時間為20-40s，厚度為10-20μm。

10.根據權利要求9所述的一種柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，將聚二甲基硅氧烷、環氧樹脂、丙烯酸樹脂或乙烯基樹脂與庚烷溶劑混合均勻旋涂在電極層上。