[發明專利]透光性器件檢測系統

在審

• 申請號: 201910994143.1
• 申請日: 2019-10-18
• 公開（公告）號: CN112683493A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 胡偉鵬
• 申請（專利權）人: 江西晶潤光學有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種透光性器件檢測系統，其特征在于，包括托盤、攝像組件和光源組件，所述托盤包括呈平面的承載面，所述承載面用于承載透光性器件，所述光源組件包括第一光源和第二光源，所述第一光源朝向所述承載面發射垂直的第一光線，所述第二光源朝向所述承載面發射傾斜的第二光線，所述第一光線和所述第二光線在所述透光性器件上反射，所述攝像組件接收所述透光性器件反射的光線而形成圖像，根據所述圖像檢測所述透光性器件的缺陷。

2.如權利要求1所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述承載面上設有鍍膜層，所述承載面為硅材質，所述鍍膜層為氮化硅材質。

3.如權利要求1所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述承載面上設有多個凸起，所述透光性器件的兩端分別搭載在相鄰的兩個所述凸起上，以使所述透光性器件與所述承載面具有第一間隔距離。

4.如權利要求3所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述凸起呈“凸”字形而形成臺階結構，所述透光性器件設置在所述臺階結構上。

5.如權利要求3所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述第一間隔距離為0.1～1mm。

6.如權利要求1所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述第一光源和所述第二光源均為環形，所述第二光源圍合形成第一空間，所述第一空間用于容置所述第一光源，所述第一光源圍合形成第二空間，所述攝像組件通過所述第二空間拍攝所述透光性器件的圖像。

7.如權利要求6所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述第一光源包括紅、綠和藍三個發光部，所述三個發光部用于調節所述第一光源發出的光線顏色。

8.如權利要求6所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述第二光線與所述第一光線相交，所述第二光線相較所述承載面傾斜的角度為30～85°。

9.如權利要求1所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述第一光源與所述承載面的距離為第二間隔距離，所述第二間隔距離為50～150mm。

10.如權利要求1所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述攝像組件包括顯微鏡和攝像頭，所述顯微鏡的光軸垂直于所述承載面，所述攝像頭設置于所述顯微鏡的目鏡。

11.如權利要求1所述的透光性器件檢測系統，其特征在于，所述透光性器件檢測系統還包括顯示器和控制裝置，所述顯示器與所述攝像組件電連接，用于顯示所述攝像組件拍攝的圖像，所述控制裝置用于控制所述光源組件和/或所述攝像組件相對所述托盤移動。