[發明專利]一種烘烤裝置及一種顯示面板的制作方法

有效

• 申請號: 201910985265.4
• 申請日: 2019-10-16
• 公開（公告）號: CN110824846B
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 喻建兵
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H05B3/06;H05B3/02
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 李漢亮

1.一種烘烤裝置，所述烘烤裝置用于對顯示面板進行烘烤，以去除所述顯示面板中的有機溶劑，其特征在于，所述烘烤裝置包括：烤箱、管道、加熱裝置和排氣扇，所述烤箱用于放置所述顯示面板，所述烤箱開設有通風口，所述管道與所述通風口連通，所述加熱裝置與所述管道連接，所述加熱裝置用于加熱所述管道，所述排氣扇朝向所述通風口，所述排氣扇用于將所述烤箱中的氣體從所述管道中排出；

其中，所述管道包括第一管和第二管，所述第一管和所述第二管均用于允許所述烤箱中的氣體通過，所述第一管嵌套于所述第二管中，使得通過所述第二管的氣體對所述第一管進行加熱，所述排氣扇用于將所述烤箱中的氣體從所述第一管和所述第二管中排出。

2.根據權利要求1所述的烘烤裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括電阻絲，所述電阻絲設置在所述第一管和所述第二管之間，所述電阻絲用于加熱所述第一管和所述第二管之間的氣體。

3.根據權利要求2所述的烘烤裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括電阻絲，所述電阻絲設置在所述第一管內，所述電阻絲用于加熱所述第一管內的氣體。

4.根據權利要求2或者3所述的烘烤裝置，其特征在于，所述加熱裝置還包括導熱硅膠件，所述電阻絲與所述導熱硅膠件連接，所述導熱硅膠件與所述第一管連接。

5.一種顯示面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

在玻璃基板上涂布形成光阻層；

在權利要求1至4任一項所述的烘烤裝置中對所述光阻層進行烘烤；

電性導通排氣扇和加熱裝置，以將烤箱中的氣體從被加熱的管道中排出。

6.根據權利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述烘烤裝置還包括溫控器和處理器，所述處理器分別與所述加熱裝置和所述溫控器電性連接；所述制作方法還包括：

所述溫控器檢測所述管道的溫度，并生成第一控制信號；

所述處理器響應于所述第一控制信號，以控制所述加熱裝置的通電狀態。