[發(fā)明專利]位移傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910985095.X | 申請(qǐng)日： | 2019-10-16 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111059994B | 公開（公告）日： | 2023-03-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 久保山豐;中野泰志;井上直也;川口真史 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 納博特斯克有限公司;新光電機(jī)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G01B7/02 | 分類號(hào)： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 位移 傳感器 | ||
本公開涉及一種位移傳感器，提高位移信號(hào)相對(duì)于被測(cè)定物的位移的線性度。位移傳感器(1)具備：線圈(2)，通過對(duì)線圈(2)提供交流電流來使線圈(2)產(chǎn)生交流磁場(chǎng)，生成與根據(jù)被測(cè)定物的位置的位移而在所述被測(cè)定物中感應(yīng)出的渦流相應(yīng)的輸出；溫度測(cè)量器(9)，其測(cè)量所述線圈(2)周邊的實(shí)際溫度；以及位移信號(hào)生成部(6)，其使用所述線圈(2)周邊的溫度為規(guī)定值時(shí)的所述線圈(2)的輸出與根據(jù)所述線圈(2)的輸出求出的表示被進(jìn)行溫度校正后的所述被測(cè)定物的位置的位移的校正位移信號(hào)之間的相關(guān)關(guān)系，輸出與所述實(shí)際溫度及所述線圈(2)的輸出對(duì)應(yīng)的校正位移信號(hào)，來作為表示所述被測(cè)定物的位置的位移的位移信號(hào)。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請(qǐng)以日本專利申請(qǐng)(日本特愿2018-195357、申請(qǐng)日：2018/10/16)為基礎(chǔ)、基于該申請(qǐng)享受優(yōu)先權(quán)利益。通過參照該申請(qǐng)來包括該申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容。
本發(fā)明涉及一種以非接觸的方式檢測(cè)與被測(cè)定物之間的距離即間隙的位移傳感器。
背景技術(shù)
利用線圈的位移傳感器具備使交流電流流過線圈的振蕩器，并且具備對(duì)由線圈的阻抗變化引起的信號(hào)變化進(jìn)行檢測(cè)的電路。振蕩器的振蕩信號(hào)在由整流器變換為直流信號(hào)之后，通過線性化器生成與同被測(cè)定物之間的間隙相應(yīng)地線性地變化的信號(hào)(參照專利文獻(xiàn)1、2)。
已知線圈的阻抗根據(jù)溫度而變化。因此，在專利文獻(xiàn)1中，根據(jù)溫度來對(duì)從具有線圈的振蕩器輸出的振蕩信號(hào)的振幅電平進(jìn)行校正。另外，在專利文獻(xiàn)2中，以與溫度相應(yīng)的校正值來對(duì)線性化器的輸出進(jìn)行校正。
專利文獻(xiàn)1：日本特開2015-137888號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2：日本特開平8-271204號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
在專利文獻(xiàn)1中，在由整流器進(jìn)行整流之前的階段進(jìn)行溫度校正。但是，整流器也存在由溫度引起的偏移變動(dòng)，線性化器的電氣特性也有可能因溫度而變動(dòng)。因此，在專利文獻(xiàn)1所公開的技術(shù)中，存在位移傳感器的輸出信號(hào)具有不少的溫度依賴性的擔(dān)憂。
另外，由于整流器的前級(jí)側(cè)的信號(hào)頻率高，因此容易受到雜散電容的影響，當(dāng)在整流器的前級(jí)側(cè)設(shè)置溫度校正電路時(shí)，由于信號(hào)頻率高而容易產(chǎn)生發(fā)熱，存在對(duì)溫度校正的精度產(chǎn)生不良影響的擔(dān)憂。
另一方面，在專利文獻(xiàn)2中，對(duì)線性化器的輸出電壓加上R-V變換器的輸出電壓來進(jìn)行校正處理，但是如果僅是通過加法處理，則只能以進(jìn)行了加法處理的特定的位移進(jìn)行校正處理，無法使線性化器的大范圍的輸入輸出特性線性化。
另外，在如專利文獻(xiàn)2那樣針對(duì)線性化器的輸出進(jìn)行溫度校正的情況下，對(duì)線性化器輸入未進(jìn)行溫度校正的信號(hào)。特別是在高溫區(qū)域，存在如下?lián)鷳n：來自整流電路的信號(hào)的衰減變大，因此即使針對(duì)輸入了這種衰減信號(hào)的線性化器的輸出進(jìn)行了溫度校正，也無法進(jìn)行能夠補(bǔ)償信號(hào)衰減量的程度的溫度校正。
并且，在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2中，均考慮通過電氣部件的組合來進(jìn)行校正處理，由于容易產(chǎn)生因溫度等環(huán)境條件、逐年劣化引起的電氣特性的變動(dòng)，另外也容易引起故障，因此存在維護(hù)性差的問題。
本發(fā)明提供一種能夠在削減構(gòu)件成本的同時(shí)盡可能地減少溫度依賴性以提高位移信號(hào)相對(duì)于被測(cè)定物的位移的線性度的位移傳感器。
為了解決上述的問題，在本發(fā)明的一個(gè)方式中提供一種位移傳感器，所述位移傳感器具備：線圈，通過對(duì)所述線圈提供交流電流來使所述線圈產(chǎn)生交流磁場(chǎng)，生成與根據(jù)被測(cè)定物的位置的位移而在所述被測(cè)定物中感應(yīng)出的渦流相應(yīng)的輸出；
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