[發(fā)明專利]無焦點(diǎn)檢查裝置及檢查方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910974383.5
• 申請(qǐng)日: 2019-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN111048432A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李撰權(quán);全文營(yíng);許貞;洪德和;趙銀河
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社高永科技
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G01B11/26
• 代理公司: 北京青松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種檢查裝置，其中，包括：

結(jié)構(gòu)光源，其依次照射具有一個(gè)相位范圍的多個(gè)結(jié)構(gòu)光；

至少一個(gè)透鏡，其針對(duì)所述多個(gè)結(jié)構(gòu)光，分別調(diào)整與所述相位范圍中各個(gè)相位對(duì)應(yīng)的光的路徑，使得與所述相位范圍中的一個(gè)相位對(duì)應(yīng)的光到達(dá)對(duì)象體表面上一部分區(qū)域的各點(diǎn)；

圖像傳感器，其捕獲所述多個(gè)結(jié)構(gòu)光分別從所述一部分區(qū)域反射而生成的多個(gè)反射光；及

處理器，其與所述結(jié)構(gòu)光源、所述至少一個(gè)透鏡及所述圖像傳感器電氣連接；

所述處理器從所述圖像傳感器獲得關(guān)于所述多個(gè)反射光各自的光量值，

以關(guān)于所述多個(gè)反射光各自的光量值為基礎(chǔ)，導(dǎo)出所述多個(gè)反射光的相位值，導(dǎo)出所述對(duì)象體表面相對(duì)于基準(zhǔn)面的角度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，還包括：

存儲(chǔ)器，其存儲(chǔ)顯示所述對(duì)象體表面的角度及所述多個(gè)反射光的相位值之間的關(guān)系的關(guān)聯(lián)信息，與所述處理器電氣連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述處理器基于所述多個(gè)反射光的相位值及從所述存儲(chǔ)器獲得的所述關(guān)聯(lián)信息，導(dǎo)出所述對(duì)象體表面的角度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述相位范圍并非所述結(jié)構(gòu)光的周期的整數(shù)倍。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢查裝置，其中，

所述相位范圍大于與所述結(jié)構(gòu)光的半周期相應(yīng)的相位范圍，小于與所述結(jié)構(gòu)光的一個(gè)周期相應(yīng)的相位范圍。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

還包括：第一光束分離器，其位于與所述基準(zhǔn)面垂直的第一軸上，調(diào)整路徑而使得從所述結(jié)構(gòu)光源照射的所述多個(gè)結(jié)構(gòu)光分別朝向所述對(duì)象體表面；

所述圖像傳感器位于所述第一軸上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

具有與同所述相位范圍相應(yīng)的所述結(jié)構(gòu)光的平均光量相應(yīng)的光量的光，到達(dá)所述對(duì)象體表面上的所述一部分區(qū)域的各點(diǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查裝置，其中，包括：

第一光圈，其使從所述結(jié)構(gòu)光源照射的所述多個(gè)結(jié)構(gòu)光分別穿過所述第一光束分離器；及

第二光圈，其使從所述對(duì)象體表面反射的所述多個(gè)反射光分別穿過所述圖像傳感器；

所述光量值，基于由所述結(jié)構(gòu)光穿過所述第一光圈后從所述對(duì)象體表面反射而生成的所述反射光，穿過所述第二光圈并被所述圖像傳感器所捕獲的光量而決定，

穿過所述第二光圈的所述反射光的光量，根據(jù)所述對(duì)象體表面的角度而變化。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述多個(gè)結(jié)構(gòu)光分別由一個(gè)結(jié)構(gòu)光按預(yù)先設(shè)置的相位間隔進(jìn)行相移而生成。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述結(jié)構(gòu)光源包括：

光源，其照射照射光；

擴(kuò)散板，其使所述照射光擴(kuò)散；

第二光束分離器，其透過所述擴(kuò)散的照射光的第一偏光，使所述擴(kuò)散的照射光的第二偏光反射；及

圖案發(fā)生器，其使所述透過的第一偏光的一部分作為第一偏光進(jìn)行反射，使所述透過的第一偏光的另一部分變換成第二偏光進(jìn)行反射；

所述第二光束分離器透過所述反射的第一偏光，使所述變換的第二偏光朝向所述第一光束分離器地反射，生成所述多個(gè)結(jié)構(gòu)光。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢查裝置，其中，

所述圖案發(fā)生器為L(zhǎng)CoS。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述多個(gè)結(jié)構(gòu)光分別具有沿第一方向或與所述第一方向垂直的第二方向的圖案。