[發明專利]一種水中硅片立式分片機構

在審

• 申請號: 201910973346.2
• 申請日: 2019-10-14
• 公開（公告）號: CN112735971A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 靳立輝;姚長娟;楊驊;任志高;尹擎;楊國建;王國瑞;楊桂賀;樊賽
• 申請（專利權）人: 天津環博科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種水中硅片立式分片機構，其特征在于：包括立式分片裝置，刷洗干燥裝置和出料上片裝置，機架前端設有傳輸槽，所述立式分片裝置和所述刷洗干燥裝置設置在所述傳輸槽中，所述出料上片裝置設置在所述機架下游。

2.根據權利要求1所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述立式分片裝置包括推進裝置，吸片裝置和吸附機械手；

所述推進裝置包括設置在所述傳輸槽中的硅片槽和推動氣缸，所述推動氣缸設置在所述硅片槽上游，所述推動氣缸活塞端設有推片，所述推片伸入到所述硅片槽中；

所述吸片裝置包括吸片板和吸片滾輪，所述吸片板垂直設置在所述硅片槽的下游，所述吸片板上設有抽水口，所述抽水口連接有抽水泵，所述吸片滾輪設置在所述吸片板上方；

所述吸附機械手為末端設有真空吸盤的機械手，所述真空吸盤連接有真空操作系統；

優選地，所述真空吸盤不少于三個。

3.根據權利要求2所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述吸片板上游對稱設置有兩個沖水裝置，所述沖水裝置上設有沖水孔，所述沖水孔連接有水泵，所述硅片槽為兩側開放的框狀；

優選地，所述沖水孔為排列成直線的多個。

4.根據權利要求2所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述硅片槽通過移動氣缸可移動設置在所述傳輸槽中，所述硅片槽尾部設有槽口，所述吸片板能夠嵌入所述槽口。

5.根據權利要求2所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述吸片滾輪包括第一滾輪和第二滾輪，所述第一滾輪設置在所述吸片板的上邊緣，所述第二滾輪設置在所述第一滾輪上方。

6.根據權利要求2-5中任一所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述刷洗干燥裝置依次包括噴淋區，刷洗區和干燥區；

所述噴淋區包括第一傳輸裝置和噴淋管組，一組所述噴淋管組包括上下對稱設置的兩個噴淋管，所述噴淋管能夠相對噴水；

所述刷洗區包括上下對稱設置的動力滾刷，所述動力滾刷通過同步帶連接；

所述干燥區包括第二傳輸裝置和干燥管組，一組所述干燥管組包括上下對稱設置的兩個干燥管，所述干燥管能夠相對出風；

優選地，所述噴淋管開設有直線型的噴水口；

優選地，所述干燥管開設有直線型的出風口；

優選地，所述第一傳輸裝置為圓皮帶傳輸帶，所述第二傳輸裝置為傳輸滾筒；

優選地，所述第一傳輸裝置兩側對稱設有間距漸近的第一導向板，所述第二傳輸裝置兩側對稱設有間距漸近的第二導向板。

7.根據權利要求6所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述刷洗干燥裝置還包括整形插片區，所述整形插片區包括第三傳輸裝置和第三導向板，所述第三傳輸裝置為圓皮帶傳輸帶，所述第三導向板對稱設置在所述第三傳輸裝置兩側，兩個所述第三導向板間距漸近。

8.根據權利要求7所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述第三傳輸裝置下方設有檢測傳感器。

9.根據權利要求2-5中任一所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述出料上片裝置包括空籃區，滿籃區，上片區和移載機械手，所述空籃區和所述滿籃區分別設置在所述上片區兩側，所述空籃區和所述滿籃區傳輸方向相反，所述機架上設有橫梁，所述橫梁設置在所述上片區上方，所述移載機械手設置在所述橫梁上；

優選地，所述上片區設有插片升降模組；

優選地，所述移載機械手包括兩套夾爪。

10.根據權利要求9所述的水中硅片立式分片機構，其特征在于：所述滿籃區包括依次排列的第一傳輸線，第二傳輸線和第三傳輸線，所述第一傳輸線長度為一個片籃寬度，所述第二傳輸線為兩個片籃寬度，所述第三傳輸線為三個片籃寬度，所述第一傳輸線，所述第二傳輸線和所述第三傳輸線均居于獨立的傳輸帶并平穩過渡。