[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性干膜和圖案形成方法

在審

• 申請號: 201910971851.3
• 申請日: 2019-10-14
• 公開（公告）號: CN111045292A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 丸山仁
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/20;G03F7/30
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 杜麗利

1.感光性樹脂組合物，其包含(A)含有環氧基和/或酚羥基的有機硅樹脂，(B)光致產酸劑，和(C)選自二氮雜雙環十一烯、二氮雜雙環壬烯、具有二氮雜雙環十一烯衍生物作為陽離子種的有機鹽和具有二氮雜雙環壬烯衍生物作為陽離子種的有機鹽的至少一種固化促進劑。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中所述有機硅樹脂(A)包含具有式(a1)至(a4)和(b1)至(b4)的重復單元：

其中，R¹至R⁴各自獨立地為C₁-C₈一價烴基，m為1至600的整數，a¹至a⁴和b¹至b⁴為以下范圍內的數：0≤a¹<1、0≤a²<1、0≤a³<1、0≤a⁴<1、0≤b¹<1、0≤b²<1、0≤b³<1、0≤b⁴<1、0<a¹+a²+a³<1、0<b¹+b²+b³<1并且a¹+a²+a³+a⁴+b¹+b²+b³+b⁴＝1，

X¹為具有式(X1)的二價基團：

其中，Y¹為單鍵、亞甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R¹¹和R¹²各自獨立地為氫或甲基，R¹³和R¹⁴各自獨立地為C₁-C₄烷基或C₁-C₄烷氧基，p¹和p²各自獨立地為0至7的整數，q¹和q²各自獨立地為0至2的整數，

X²為具有式(X2)的二價基團：

其中，Y²為單鍵、亞甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R²¹和R²²各自獨立地為氫或甲基，R²³和R²⁴各自獨立地為C₁-C₄烷基或C₁-C₄烷氧基，r¹和r²各自獨立地為0至7的整數，s¹和s²各自獨立地為0至2的整數，

X³為具有式(X3)的二價基團：

其中，R³¹和R³²各自獨立地為氫或甲基，t¹和t²各自獨立地為0至7的整數，

X⁴為具有式(X4)的二價基團：

其中，R⁴¹和R⁴²各自獨立地為氫或甲基，R⁴³和R⁴⁴各自獨立地為C₁-C₈一價烴基，u¹和u²各自獨立地為0至7的整數，v為0至600的整數。

3.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其另外包含(D)交聯劑。