[發(fā)明專利]一種密封裝置、容器及工件處理系統(tǒng)

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910969345.0
• 申請日: 2019-10-12
• 公開（公告）號: CN112647109A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發(fā)明（設計）人: 危勇軍;方志斌
• 申請（專利權）人: 昆山東威科技股份有限公司
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C23G3/00;C23G5/04
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 徐律

1.一種密封裝置，用于對設在容器(3)側壁上沿第一方向延伸的密封通道(4)密封，其特征在于，所述密封裝置包括：

至少一個密封機構，所述密封機構包括設在所述密封通道(4)內并將其分割為供待處理工件穿過的滑行通道(7)和第一區(qū)域(8)的第一驅動機構(2)；及間隔設在所述第一驅動機構(2)上且分別分布在所述滑行通道(7)和第一區(qū)域(8)內的至少兩個第一密封部件(1)；

所述第一密封部件(1)受所述第一驅動機構(2)的驅動而沿第一方向做閉合環(huán)的循環(huán)移動，且至少兩個所述第一密封部件(1)分別與所述滑行通道(7)和第一區(qū)域(8)所在的密封通道(4)內壁密封地滑動連接；

沿第一方向，任一所述滑行通道(7)的長度為L0_i，任一待處理工件的長度為L2_i，任意相鄰兩個所述第一密封部件(1)之間的路徑長度為L1_i；所述L1_i與L0_i、L2_i之間滿足：

L0_min≥L1_max，L1_min≥L2_max，其中所述L1_max為所有L1_i中的最大值，L2_max為所有L2_i中的最大值，L0_min為所有L0_i中的最小值，并且i為大于或等于1的自然數(shù)。

2.根據權利要求1所述的密封裝置，其特征在于，所述第一密封部件(1)的一端鉸接在所述第一驅動機構(2)上，另一端向外延伸；

所述第一密封部件(1)受外界的驅動力而轉動，以使第一密封部件(1)可在滑行通道(7)內處于相對所述第一驅動機構(2)垂直的豎直狀態(tài)和在所述第一區(qū)域(8)內處于相對于所述第一驅動機構(2)傾斜的傾斜狀態(tài)之間切換；所述第一密封部件(1)的外壁與對應的所述密封通道(4)的內壁密封地滑動連接。

3.根據權利要求2所述的密封裝置，其特征在于，所述第一區(qū)域(8)在由所述滑行通道(7)朝向所述第一區(qū)域(8)方向上的第一間距小于所述第一密封部件(1)的長度；

所述密封機構還包括設在所述第一驅動機構(2)上并給所述第一密封部件(1)施加背向所述第一驅動機構(2)方向的偏壓力的至少一個偏壓件；

所述第一密封部件(1)受所述偏壓力而處于所述豎直狀態(tài)，及在所述第一區(qū)域(8)內受所述第一區(qū)域(8)所在密封通道(4)的內壁面的擠壓力而處于所述傾斜狀態(tài)。

4.根據權利要求3所述的密封裝置，其特征在于，所述第一密封部件(1)的一端通過合頁鉸接在所述第一驅動機構(2)上；和/或

所述偏壓件為扭簧；和/或

所述第一密封部件(1)呈板塊狀。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的密封裝置，其特征在于，所述滑行通道(7)和所述第一區(qū)域(8)在水平方向上并列布置，并且所述滑行通道(7)位于所述第一區(qū)域(8)的上方；

所述第一密封部件(1)在滑行通道(7)內移動時，其豎向兩外側壁分別與所述滑行通道(7)所在的密封通道(4)的豎向兩內側壁之間密封滑動連接；及在所述第一區(qū)域(8)內移動時，所述第一密封部件(1)的底部表面與所述第一區(qū)域(8)所在的密封通道(4)的底部表面之間密封滑動連接。

6.根據權利要求1-4中任一項所述的密封裝置，其特征在于，所述滑行通道(7)和所述第一區(qū)域(8)在豎向上并列布置；

所述第一密封部件(1)在所述滑行通道(7)內移動時，所述第一密封部件(1)上與所述第一驅動機構(2)相對的豎向外側端面，與其相對的所述滑行通道(7)所在的密封通道(4)的豎向一側內壁之間密封地滑動連接；及在所述第一區(qū)域(8)內移動時，所述第一密封部件(1)的豎向外側端面與所述第一區(qū)域(8)所在的密封通道(4)的另一側豎向內壁之間密封滑動連接。