[發明專利]一種音圈電機雙擺臂取放結構

在審

• 申請號: 201910965694.5
• 申請日: 2019-10-12
• 公開（公告）號: CN111439572A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 黃雄;劉衛
• 申請（專利權）人: 深圳市昌富祥智能科技有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

一種音圈電機雙擺臂取放結構，涉及半導體自動化設備領域，它由兩個擺臂機構、工作平臺、主軸旋轉伺服電機、音圈電機組成；擺臂機構設置在工作平臺的下方,主軸旋轉伺服電機居中設置在工作平臺的上方，音圈電機固定在工作平臺上；擺臂機構由擺臂、吸嘴、交叉導軌工件、滾珠軸承、半圓弧壓片；擺臂安裝在交叉導軌工件上，吸嘴安裝在擺臂的前端與擺臂套接，交叉導軌工件設置在工作平臺的下方，滾珠軸承安裝在交叉導軌工件的左側上。本發明有益效果為:兩條擺臂和兩組上下運動機構交替運動，在吸取芯片的同時完成固晶動作，使產能效率達到接近于翻倍的效果，同時具有壓力可控可調功能，保護芯片不被壓傷，保持很好的產品良率。

技術領域

本發明涉及半導體自動一體化設備領域，具體涉及一種音圈電機雙擺臂取放結構。

背景技術

隨著科技的迅速發展以及半導體材料不斷的新生，信息技術產業日益飛黃，半導體自動一體化設備孕育而生，設備不僅減少了勞動成本，提高資源的利用，也極大提高了生產效率。設備在日常使用中能夠給人們提供方便，但是，仍具有以下不足：傳統的半導體自動一體化設備由一條擺臂和一組上下運動Z軸機構組成，吸取一顆芯片,固晶完成以后，才能取下一顆芯片，產能效率低。

發明內容

本發明的目的在于針對現有技術中產能效率低的問題，提供一種音圈電機雙擺臂取放結構。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案是：它由兩個擺臂機構1、工作平臺2、主軸旋轉伺服電機3、音圈電機4組成；擺臂機構1設置在工作平臺2的下方,主軸旋轉伺服電機3居中設置在工作平臺2的上方，音圈電機4固定在工作平臺2上；擺臂機構1由擺臂11、吸嘴12、交叉導軌工件13、滾珠軸承14、半圓弧壓片15組成；擺臂11安裝在交叉導軌工件13上，吸嘴12安裝在擺臂11的前端與擺臂11套接，交叉導軌工件13設置在工作平臺2的下方，滾珠軸承14安裝在交叉導軌工件13的左側上，半圓弧壓片15壓在滾珠軸承14上，擺臂11上還設有多個孔槽110，交叉導軌工件13上設有調節旋鈕130。

所述擺臂機構1以主軸旋轉電機3為軸線對稱分布在工作平臺2的下方兩側。

所述孔槽110大小相等、排列均勻的設置在擺臂11上且孔槽110與調節旋鈕130尺寸大小對應配合。起到固定和調節作用，可根據實際情況需求，調節擺臂的長度，同時也能使交叉導軌工件壓力可控可調，固定擺臂位置，使擺臂在工作過程無法移位，增強設備穩定性，可以很好的保護芯片不被壓傷，保持很好的產品良率。

所述交叉導軌工件13左側設置有滾珠軸承14，半圓弧壓片15壓在滾珠軸承14上。

所述半圓弧壓片15側面用彈簧17拉住。固定半圓弧壓片，通過音圈電機帶動半圓弧壓片上下運動，從而實現交叉導軌的上下運動，來完成擺臂Z軸上下的動作。

所述工作平臺2的下方設有歸位原點感應器16。在完成一次吸芯固晶動作后，擺臂機構回歸起始位置時，音圈半圓弧擋板觸碰歸位原點感應器，此時旋轉伺服電機旋轉180°。

本發明的工作原理：工作平臺上方主軸旋轉伺服電機帶動下方擺臂機構旋轉運動180°，使得工作平臺下方擺臂機構交替完成吸取芯片和固晶的動作，即擺臂1吸嘴吸取芯片的同時，擺臂2完成固晶動作，完成一次動作擺臂機構回歸起始位置觸碰歸位原點感應器，此時旋轉伺服電機旋轉180°，轉變成擺臂2吸取芯片的同時，擺臂1完成固晶動作，如此交替運動，縮短時間，大大提高了產能效率。

采用上述技術方案后，本發明有益效果為：由兩條擺臂和兩組上下運動Z軸機構組成，在吸取芯片的同時完成固晶動作，使產能效率達到接近于翻倍的效果,且音圈電機體積小，運動速度快，加減速響應時間短，同時具有壓力可控可調功能，可以很好的保護芯片不被壓傷，保持很好的產品良率。

附圖說明