[發明專利]一種Ta-TaN-TaWN超硬涂層刀具及其制備方法在審
| 申請號： | 201910965629.2 | 申請日： | 2019-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN111254399A | 公開（公告）日： | 2020-06-09 |
| 發明（設計）人： | 吳澤;劉磊;邢佑強;鮑航 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/06 |
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| 地址： | 210096 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ta tan tawn 涂層 刀具 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種Ta-TaN-TaWN超硬涂層刀具，其特征在于：刀具基體材料可以是高速鋼、硬質合金、陶瓷等常規刀具材料，涂層沿基體外表面由內向外依次為Ta過渡層、TaN硬涂層、TaWN超硬涂層。
2.根據權利要求1所述的一種Ta-TaN-TaWN超硬涂層刀具，特別地，其Ta過渡層的厚度為0.5～0.8μm，TaN硬涂層的厚度為1.0～1.2μm，TaWN超硬涂層的厚度為0.8～1.5μm。
3.根據權利要求1所述的一種Ta-TaN-TaWN超硬涂層刀具，其特征是通過如下方法制備：采用磁控濺射結合多弧離子鍍的方法在刀具基體表面分別依次沉積Ta過渡層、TaN硬涂層、TaWN超硬涂層。
4.根據權利要求3所述的Ta-TaN-TaWN超硬涂層刀具的制備方法，其特征在于：Ta過渡層、TaN硬涂層、TaWN超硬涂層的制備分別均選用所需的單質材料作為射頻靶材，通氮氣和氬氣的混合氣體，氮氣與氬氣的質量分數占比為1∶4，沉積氣壓0.5-1.0Pa，沉積溫度控制在350～450℃。
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