[發(fā)明專利]探針裝置、電氣檢查裝置、以及電氣檢查方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910960422.6
• 申請日: 2019-10-10
• 公開（公告）號: CN111220894A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高野祥司;松田文彥;成澤嘉彥
• 申請（專利權(quán)）人: 日本梅克特隆株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/073
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;王莉莉

本發(fā)明提供能廉價且正確地進(jìn)行印刷線路板的電氣檢查的探針裝置、電氣檢查裝置以及電氣檢查方法。一種用于印刷線路板的電氣檢查的探針裝置，具備至少一個探針組，該至少一個探針組包括相互電連接的多根線探針，并且該多根線探針構(gòu)成為能夠與設(shè)于印刷線路板上且沿預(yù)定方向延伸的布線該沿預(yù)定方向同時抵接。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及探針裝置、電氣檢查裝置、以及電氣檢查方法，更詳細(xì)而言，涉及在印刷線路板的電氣檢查中使用的探針裝置、包括該探針裝置的電氣檢查裝置、以及使用了該電氣檢查裝置的電氣檢查方法。

背景技術(shù)

伴隨電子設(shè)備中的信號傳輸速度的高速化，作為用于高速傳輸信號的布線，大多利用細(xì)線同軸纜線。近年來，還需求多個高速信號的并列傳輸、節(jié)省空間。因此，正在推進(jìn)比細(xì)線同軸纜線更節(jié)省空間并且能夠進(jìn)行設(shè)備內(nèi)布線的印刷線路板的應(yīng)用。例如，專利文獻(xiàn)1中記載有一種設(shè)有多根用于傳輸高速信號的高速信號傳輸用布線(以下也簡單地稱作“信號線”。)的印刷線路板。

需要測定設(shè)有高速信號傳輸用布線的印刷線路板的電氣特性。專利文獻(xiàn)2中記載有一種具有信號引腳和接地引腳的同軸探針。并且，公知一種與檢查對象的印刷線路板的端子相符地以窄間距配置有多個探針的探針卡。

現(xiàn)今，公知一種使用具有線探針等的探針針體的檢查夾具來檢查印刷線路板的布線的直流電阻、絕緣電阻等基本電氣特性的技術(shù)。在該檢查夾具中，在與檢查對象的印刷線路板的端子對應(yīng)的位置配設(shè)有探針針體。在檢查夾具與測定器之間設(shè)有用于切換測定用信號的輸出目的地的切換器。在進(jìn)行電氣檢查時，使探針針體一根一根地與印刷線路板的多個端子(信號端子、接地端子等)接觸。之后，通過由切換器切換測定用信號的輸出目的地，來進(jìn)行針對印刷線路板的多個布線的電氣檢查。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特愿2017-239767

專利文獻(xiàn)2：日本特開2001-343406號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

需求廉價地進(jìn)行設(shè)有多個信號線的印刷線路板的電氣特性、具體為該信號線的特性阻抗、交流信號的傳輸損失的頻率特性、鄰接的信號線間的串?dāng)_等檢查。并且，當(dāng)然需求正確的電氣檢查。

除此之外，還期望能夠高效地進(jìn)行印刷線路板的電氣檢查。例如，為了高效地測定串?dāng)_，需要使探針同時一并地與以窄間距配置的多個信號線的端子分別接觸。但是，若想要使用專利文獻(xiàn)2所記載的同軸探針，則需要按照每個檢查對象的信號線使同軸探針移動，從而難以高效地進(jìn)行電氣檢查。并且，由于同軸探針的信號引腳與接地引腳的間隔較大，所以在印刷線路板的布線間距較窄的情況下，有在同軸探針中無法對應(yīng)的擔(dān)憂。

另一方面，在使用線探針等的探針針體的檢查夾具的情況下，通過由切換器切換測定用信號的輸出目的地，能夠高效地進(jìn)行針對印刷線路板的多個布線的電氣檢查。然而，尤其在高頻信號的情況下，在探針針體與印刷線路板的布線之間難以取得阻抗匹配。在特性阻抗不匹配的情況下，在探針針體與布線之間的接觸部分，測定用信號的反射變大，無法進(jìn)行正確的電氣檢查。

在使用探針卡來進(jìn)行電氣檢查的情況下，使探針卡的多個探針一并地與印刷線路板的多個信號線接觸。因此，能夠高效地進(jìn)行電氣檢查。另外，由于探針卡與印刷線路板間的距離比測定用信號的波長足夠短，所以即使無法取得阻抗匹配，也能夠抑制接觸部分的測定用信號的反射。

然而，探針卡是與檢查對象的印刷線路板的端子的配置相符制成的專用件。因此，在印刷線路板的端子的配置變更了的情況下，需要制成新的探針卡。探針卡非常昂貴，制成所需的時間也較長，因而不適于廉價地檢查印刷線路板的電氣特性。

本發(fā)明是基于上述的技術(shù)認(rèn)識而完成的，其提供能夠廉價且正確地進(jìn)行印刷線路板的電氣檢查的探針裝置、電氣檢查裝置、以及電氣檢查方法。