[發明專利]一種MEMS加速度計溫度補償方法

在審

• 申請號: 201910955340.2
• 申請日: 2019-10-09
• 公開（公告）號: CN110726852A
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: 羅世彬;韓松來;王思遠
• 申請（專利權）人: 湖南海迅自動化技術有限公司
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;G01C25/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS加速度計溫度補償方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)系統啟動，導航計算機開啟，MEMS加速度計以及溫箱啟動；

(2)設置溫箱的溫度曲線；

(3)將MEMS加速度計水平放置，采集x、y軸加速度數據，通過轉接板由計算機采集并儲存；

通過采集好的數據(含B₀，T，)代入多項式(1)中，通過最小二乘法擬合得到多項式各項系數(b₀₁～b₁₀)；

其中，B₀為x軸加速度計零偏，T為溫度，為溫度梯度，上述三個參數均由加速度計輸出；

補償模型為：M＝B₀+B₁a，其中M為x軸加速度計采樣加速度，B₁為x軸加速度計標度因數，a為x軸實際加速度；

從而x軸加速度計補償后的加速度為y軸與x軸計算方法相同，從而得出x軸y軸加速度計補償后的輸出；

(4)將MEMS加速度計豎直放置，重復步驟(3)，從而得到z軸加速度計溫度補償后的輸出。

2.一種如權利要求1所述MEMS加速度計溫度補償方法的系統，其特征在于，所述系統包括：MEMS加速度計、溫箱、導航計算機、轉接板以及接口；

MEMS加速度計，用以輸出加速度數據；

溫箱，用以控制溫度；

導航計算機，用以將MEMS加速度計輸出加速度的原始數據采集到計算機中，通過多項式擬合，得到溫度補償多項式；

轉接板，用以連接MEMS加速度計與導航計算機的接口；

所述溫箱搭載MEMS加速度計，所述MEMS加速度計通過接口與轉接板連接，所述轉接板通過接口與導航計算機連接。

3.一種如權利要求1所述MEMS加速度計溫度補償方法的算法，其特征在于，包括如下步驟：

a.利用最小二乘法進行MEMS加速度計零偏的多項式擬合；通過最小二乘法確定多項式系數，從而建立零偏與溫度及溫度梯度的關系；

b.計算MEMS加速度計實際輸出；通過擬合好的多項式計算出零偏，從而計算出補償后的實際加速度值。