[發(fā)明專利]照明條件自動校正的方法、裝置、設(shè)備和存儲介質(zhì)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910950346.0
• 申請日: 2019-10-08
• 公開（公告）號: CN112631079A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡立元
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G06F16/11;G06F16/16
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 張彬彬

1.一種照明條件自動校正的方法，其特征在于，包括：

檢查曝光機臺的服務(wù)器上存儲的、與照明條件設(shè)定對應(yīng)的校正記錄文件；

若所述校正記錄文件缺失，則根據(jù)缺失的所述校正記錄文件，進行相應(yīng)的照明條件校正，根據(jù)所述照明條件校正得到的結(jié)果更新對應(yīng)的所述照明條件設(shè)定，并將所述照明條件校正得到的結(jié)果存儲為所述校正記錄文件；

其中，所述校正記錄文件包括照明條件系統(tǒng)校正文件和曝光縫隙均勻度檢測文件中的至少一種；所述照明條件校正包括照明條件系統(tǒng)校正和曝光縫隙均勻度檢測中的至少一種。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明條件自動校正的方法，其特征在于，所述根據(jù)缺失的所述校正記錄文件，進行相應(yīng)的照明條件校正，根據(jù)所述照明條件校正得到的結(jié)果更新對應(yīng)的所述照明條件設(shè)定，并將所述照明條件校正得到的結(jié)果存儲為對應(yīng)的所述校正記錄文件的步驟包括：

當(dāng)缺失的所述校正記錄文件包括所述照明條件系統(tǒng)校正文件時，進行所述照明條件系統(tǒng)校正，再進行所述曝光縫隙均勻度檢測，根據(jù)所述照明條件系統(tǒng)校正得到的結(jié)果更新所述照明條件設(shè)定，并將所述照明條件系統(tǒng)校正得到的結(jié)果存儲為所述照明條件系統(tǒng)校正文件，將所述曝光縫隙均勻度檢測得到的結(jié)果存儲為所述曝光縫隙均勻度檢測文件；

當(dāng)缺失的所述校正記錄文件僅為所述曝光縫隙均勻度檢測文件時，進行所述曝光縫隙均勻度檢測，將所述曝光縫隙均勻度檢測得到的結(jié)果存儲為所述曝光縫隙均勻度檢測文件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明條件自動校正的方法，其特征在于，所述根據(jù)缺失的所述校正記錄文件，進行相應(yīng)的照明條件校正，根據(jù)所述照明條件校正得到的結(jié)果更新對應(yīng)的所述照明條件設(shè)定，并將所述照明條件校正得到的結(jié)果存儲為對應(yīng)的所述校正記錄文件的步驟之后，還包括：

在完成所述照明條件校正時，更新并保存所述照明條件設(shè)定對應(yīng)的機器常數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明條件自動校正的方法，其特征在于，所述檢查曝光機臺的服務(wù)器上存儲的、與照明條件設(shè)定對應(yīng)的校正記錄文件的步驟之前，還包括：

獲取所述曝光機臺待曝光的產(chǎn)品、工藝步驟以及關(guān)聯(lián)的所述照明條件設(shè)定；

所述檢查曝光機臺的服務(wù)器上存儲的、與照明條件設(shè)定對應(yīng)的校正記錄文件的步驟之后，還包括：

在檢查到所述服務(wù)器保存有所述照明條件設(shè)定對應(yīng)的所有校正記錄文件時，根據(jù)所述照明條件設(shè)定進行曝光處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的照明條件自動校正的方法，其特征在于，所述根據(jù)缺失的所述校正記錄文件，進行相應(yīng)的照明條件校正，根據(jù)所述照明條件校正得到的結(jié)果更新對應(yīng)的所述照明條件設(shè)定，并將所述照明條件校正得到的結(jié)果存儲為所述校正記錄文件的步驟包括：

檢測所述照明條件校正得到的所述曝光縫隙均勻度檢測文件是否滿足預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)：若是，則確定已完成所述照明條件校正；若否，則刪除所述曝光縫隙均勻度檢測文件以及所述曝光縫隙均勻度檢測文件對應(yīng)的照明條件系統(tǒng)校正文件，并重新進行所述照明條件校正。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明條件自動校正的方法，其特征在于，還包括：

根據(jù)接收到的刪除指令，從所述服務(wù)器中刪除對應(yīng)的所述校正記錄文件，以重新進行相應(yīng)的照明條件校正，得到新的校正記錄文件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的照明條件自動校正的方法，其特征在于，還包括：

提供自動校正功能的配置參數(shù)接口；所述配置參數(shù)包括是否自動進行照明條件系統(tǒng)校正文件檢測，以及是否自動進行曝光縫隙均勻度檢測文件檢測；

通過所述配置參數(shù)接口接收配置指令。