[發明專利]一種芯片貼裝載具及貼裝方法在審
| 申請號: | 201910949241.3 | 申請日: | 2019-10-08 |
| 公開(公告)號: | CN110634788A | 公開(公告)日: | 2019-12-31 |
| 發明(設計)人: | 劉睿強;李志貴;周勝 | 申請(專利權)人: | 重慶電子工程職業學院 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67;H01L21/50 |
| 代理公司: | 50223 重慶蘊博君晟知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人: | 王玉芝 |
| 地址: | 401331 重*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 載板 支撐桿 抽氣孔 通孔 連通 裝載 芯片 吸力 固定牢固 影響芯片 彈性件 回復力 夾持塊 吸附件 夾持 松脫 貼裝 | ||
本發明公開了一種芯片貼裝載具,通過將載板放置在兩個所述支撐桿上,并且兩個所述夾持塊在各自對應的所述彈性件的回復力作用下,進而將載板的兩端進行夾持,并且之后啟動與所述抽氣孔連通的吸附件,由于所述抽氣孔與每個所述通孔連通,因此每個所述支撐桿上的所述通孔產生吸力,以此使得載板的底部與所述支撐桿的底部緊密接觸,以此達到使得芯片貼裝載具在對載板進行固定時,載板固定牢固,不易出現松脫,避免影響芯片貼裝效果的目的。
技術領域
本發明涉及半導體組裝技術領域,尤其涉及一種芯片貼裝載具及貼裝方法。
背景技術
目前在芯片貼裝過程中,首先使用芯片貼裝載具將載板進行固定,然后利用貼片機通過貼片作業將芯片貼裝于載板上,完成對芯片的貼裝,但是現有的芯片貼裝載具在對載板進行固定時,載板固定不牢固,易出現松脫,影響芯片貼裝效果。
發明內容
本發明的目的在于提供一種芯片貼裝載具,旨在解決現有技術中的芯片貼裝載具在對載板進行固定時,載板固定不牢固,易出現松脫,影響芯片貼裝效果的技術問題。
為實現上述目的,本發明采用的一種芯片貼裝載具,包括底板、固定件、夾持組件和支撐桿,所述底板的上表壁上設置有滑槽,所述底板的側壁上設置有抽氣孔,所述固定件與所述底板固定連接,并位于所述滑槽的軸向線上,所述滑槽內設置有所述夾持組件;
所述夾持組件包括彈性件、滑塊和夾持塊,所述彈性件的一端與所述固定件固定連接,所述彈性件的另一端與所述滑塊固定連接,且所述彈性件和所述滑塊均位于所述滑槽的內部,所述夾持塊與所述滑塊固定連接,并位于所述滑塊的上方,所述夾持組件的數量為兩個,兩個所述夾持組件沿所述滑槽的軸向線相對設置,所述支撐桿與所述底板固定連接,并位于所述底板上方,且所述支撐桿與所述滑槽平行設置,所述支撐桿的數量為兩個,兩個所述支撐桿分別平行設置在所述滑槽的兩側,每個所述支撐桿上均設有通孔,且每個所述通孔與所述抽氣孔連通。
其中,所述夾持組件還包括定位塊和第一螺紋轉動件,所述定位塊與所述夾持塊固定連接,并位于所述夾持塊的側壁,所述定位塊上具有帶螺紋的貫穿孔,所述第一螺紋轉動件與所述定位塊螺紋連接,且所述第一螺紋轉動件貫穿所述貫穿孔。
其中,所述夾持組件還包括緩沖墊,所述緩沖墊與所述夾持塊固定連接,并位于所述夾持塊與載板接觸的一端。
其中,所述芯片貼裝載具還包括吸盤,所述吸盤與所述支撐桿固定連接,并位于所述支撐桿的上方,且所述吸盤與所述通孔連通。
其中,所述芯片貼裝載具還包括鎖緊組件,所述鎖緊組件包括立柱和第二螺紋轉動件,所述立柱與所述底板固定連接,并位于所述底板的上方,且位于所述支撐桿遠離所述滑槽的一側,所述立柱上具有帶螺紋的小孔,所述第二螺紋轉動件與所述立柱螺紋連接,且所述第二螺紋轉動件貫穿所述小孔。
其中,所述鎖緊組件還包括鎖緊板,所述鎖緊板與所述第二螺紋轉動件轉動連接,并位于所述第二螺紋轉動件靠近載板的一端。
其中,所述鎖緊組件還包括彈性墊,所述彈性墊與所述鎖緊板固定連接,并位于所述鎖緊板遠離所述第二螺紋轉動件的一端。
其中,所述鎖緊組件的數量為兩個,兩個所述鎖緊組件沿所述滑槽的長度延伸方向相對設置。
本發明還提供一種貼裝方法,包括如下步驟:
放置載板至兩個所述支撐桿上,并利用兩個所述夾持塊在所述彈性件回復力作用下夾持載板的兩側;
基于所述抽氣孔與每個所述通孔連通而啟動吸附機,以至載板的底端與每個所述支撐桿緊密接觸;
轉動每個所述第一螺紋轉動件,直至每個所述第一螺紋轉動件與所述滑槽的底部相互抵持;
轉動每個所述第二螺紋轉動件,直至每個所述鎖緊板與載板的側壁相互抵持;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





